學(xué)員問(wèn):圖形反轉(zhuǎn)膠兼具了正膠和負(fù)膠的作用,請(qǐng)問(wèn)如何實(shí)現(xiàn)兩種功能的轉(zhuǎn)換?原理是什么?什么是正負(fù)反轉(zhuǎn)膠?在一款光刻膠中既可以實(shí)現(xiàn)正膠功能,也可以實(shí)現(xiàn)負(fù)膠功能。主要功能以負(fù)膠為主,用于晶圓制造的lift off制程。最常見的正負(fù)反轉(zhuǎn)膠要數(shù)AZ5214E,固含量28%左右,勻膠厚度在1-2um之間。