佳能，擴(kuò)產(chǎn)光刻機(jī)

最近有個(gè)新聞吸引了不少吃瓜群眾——佳能，一家造相機(jī)的，竟然也造光刻機(jī)。背后的事情是這樣的，佳能要在自己的新工廠增產(chǎn)光刻機(jī)設(shè)備，將半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)能翻番，這是他們的光刻設(shè)備時(shí)隔21年擴(kuò)產(chǎn)。

佳能還計(jì)劃開(kāi)發(fā)以低成本制成尖端微細(xì)電路的新一代設(shè)備。大家更關(guān)心，佳能能頂住壓力賣給中國(guó)嗎？

懂行的可能知道，日本的佳能、尼康的光刻機(jī)市場(chǎng)份額曾遙遙領(lǐng)先荷蘭ASML，在上次佳能擴(kuò)產(chǎn)光刻設(shè)備的2000年左右，ASML因?yàn)楹?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E5%8F%B0%E7%A7%AF%E7%94%B5/">臺(tái)積電的一次觸電式合作，從無(wú)名小卒一騎絕塵，反觀佳能、尼康已經(jīng)逐漸走下坡路。

尼康、佳能在半導(dǎo)體的風(fēng)光雖不及當(dāng)年，但在今天家喻戶曉的相機(jī)廠商里，索尼、富士、徠卡……它們當(dāng)中不乏有在半導(dǎo)體領(lǐng)域混得風(fēng)生水起的品牌。閱讀本文，你會(huì)了解：

1、  攻入半導(dǎo)體的相機(jī)大廠
2、  向光刻機(jī)內(nèi)卷
3、  日本相機(jī)廠與半導(dǎo)體興衰史

01、攻入半導(dǎo)體的相機(jī)大廠

"感動(dòng)常在"、"市場(chǎng)的佳能"、"技術(shù)的索尼"，“穩(wěn)”字當(dāng)頭的尼康，文青最愛(ài)的富士，特點(diǎn)不明顯的松下……你會(huì)發(fā)現(xiàn)在眾多全球相機(jī)品牌中，日本品牌一家獨(dú)大。（當(dāng)然德國(guó)還有相機(jī)界的“勞斯萊斯”徠卡，值得我思考自己為什么這么窮）

攻入半導(dǎo)體領(lǐng)域，它們也是認(rèn)真的，從近期各廠商的表現(xiàn)和布局可以看出：

索尼的圖像傳感器長(zhǎng)期雄踞高端市場(chǎng)。2022年上半年，智能手機(jī)圖像傳感器市場(chǎng)索尼半導(dǎo)體解決方案以44%的收入份額位居榜首（索尼、三星和OMNIVISION占比近83%）。2021年索尼影像及傳感解決方案業(yè)務(wù)（I&SS）全年銷售收入同比增長(zhǎng)6%至10764億日元，占2021財(cái)年銷售收入（99215億日元）的10.8％左右。早在上世紀(jì)50年代，索尼的前身東京通信工業(yè)就發(fā)布了全球首個(gè)商用的半導(dǎo)體晶體管收音機(jī)TR-1。

富士膠片2021財(cái)年?duì)I收25258億日元，該公司目標(biāo)在2030年度半導(dǎo)體材料部門(mén)的營(yíng)收要達(dá)到4000億日元，這個(gè)數(shù)字是目前的2.7倍，可以推算出目前其半導(dǎo)體材料營(yíng)收約為1481億日元，占其總營(yíng)收的5.8％左右。從2006年至2020年，富士膠片在半導(dǎo)體工藝材料等高性能材料領(lǐng)域的投入由來(lái)已久，自2020年開(kāi)始還對(duì)半導(dǎo)體材料業(yè)務(wù)不斷加碼，以為5納米或更先進(jìn)工藝制程的芯片生產(chǎn)提供材料支持。

尼康在2021年財(cái)年的財(cái)報(bào)顯示，截至2022年3月的全年財(cái)年（2021年4月1日－2022年3月31日），尼康集團(tuán)全年銷售收入達(dá)5396億日元。在其各項(xiàng)業(yè)務(wù)中，包括半導(dǎo)體制造等業(yè)務(wù)的銷售額占比不斷提升，2021年尼康集成電路用光刻機(jī)出貨29臺(tái)，光刻機(jī)業(yè)務(wù)營(yíng)收約112億元人民幣（約合2280億日元），占其2021年財(cái)年約42％，是尼康第二大支柱業(yè)務(wù)。尼康在1980年就出貨了分辨率達(dá)到1.0 µm（當(dāng)時(shí)算高精度）的半導(dǎo)體光刻機(jī)NSR-1010G。

2021年佳能的半導(dǎo)體用光刻機(jī)是i-line、KrF兩類機(jī)臺(tái)出貨，出貨量達(dá)140臺(tái)，光刻機(jī)營(yíng)收約為110億元人民幣（約合15億美元），占其2021年總營(yíng)收（319.76億美元）約4.69％。早在1970年佳能就發(fā)售了日本首臺(tái)半導(dǎo)體光刻機(jī)。

除此之外，松下的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)早期涉及黑色家電，目前正在往車載和產(chǎn)業(yè)用方向轉(zhuǎn)型。而徠卡的半導(dǎo)體顯微鏡一直走在技術(shù)前列。

這些大企業(yè)不少在上世紀(jì)就布局半導(dǎo)體，拓展業(yè)務(wù)，未雨綢繆，畢竟一直吃老本往往是會(huì)被淘汰的，僅靠2C的業(yè)務(wù)也是無(wú)法獲得長(zhǎng)足發(fā)展的。

不可否認(rèn)的是，近幾年傳統(tǒng)相機(jī)廠商相機(jī)市場(chǎng)業(yè)務(wù)急劇萎縮，經(jīng)營(yíng)也扛不住了，關(guān)停了不少重要的工廠，甚至直接退出相機(jī)市場(chǎng)。

尼康在2017年就宣布關(guān)停位于江蘇無(wú)錫的相機(jī)生產(chǎn)子公司“尼康光學(xué)儀器”，這家公司當(dāng)時(shí)的主要產(chǎn)品是數(shù)碼相機(jī)。

2020年，有著84年相機(jī)生產(chǎn)歷史的“百年企業(yè)”奧林巴斯宣布將其相機(jī)部門(mén)出售。奧林巴斯在日本成功地將顯微鏡商品化，曾是精密、光學(xué)技術(shù)的代表企業(yè)之一。而在奧林巴斯之前，柯達(dá)等早已經(jīng)宣布退出相機(jī)市場(chǎng)。

2022年1月，佳能這一老牌相機(jī)企業(yè)工廠在中國(guó)宣告落幕，關(guān)閉32年珠海工廠。1990年成立的佳能珠海廠是日資企業(yè)在珠海的龍頭老大哥，是最早進(jìn)入珠海的世界500強(qiáng)之一，其生產(chǎn)的卡片數(shù)碼相機(jī)曾占佳能全球卡片數(shù)碼相機(jī)銷售量的一半。

一直以來(lái)，傳統(tǒng)相機(jī)廠商轉(zhuǎn)型的重要方向是專業(yè)光學(xué)領(lǐng)域，但是這種專業(yè)領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)比消費(fèi)領(lǐng)域更加激烈，如尼康、佳能與CGA、ASML的競(jìng)爭(zhēng)。

02、向光刻機(jī)內(nèi)卷

對(duì)于傳統(tǒng)相機(jī)大廠甚至是光學(xué)鏡頭起家的相機(jī)大廠來(lái)說(shuō)，開(kāi)辟新事業(yè)的重要方向就是相近的專業(yè)光學(xué)領(lǐng)域，無(wú)需跨專業(yè)跨方向，精進(jìn)后可能就能開(kāi)辟出新的業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)爆發(fā)點(diǎn)。尼康、佳能就曾經(jīng)在半導(dǎo)體光刻機(jī)領(lǐng)域一鳴驚人。

光刻機(jī)曝光造芯片與相機(jī)曝光雷同

簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，光刻機(jī)相當(dāng)于一臺(tái)照芯片（精細(xì)電路圖）的巨型照相機(jī)。光是鏡頭可能就占了一臺(tái)光刻機(jī)成本的40％。

好的相機(jī)可以去拍外太空，好的光刻機(jī)，可以刻出更精密的芯片。光刻機(jī)制造芯片的流程類似相機(jī)的“曝光”，得以把精細(xì)電路圖案曝光在晶圓的半導(dǎo)體基板上。

首先，光刻機(jī)將掩膜版上繪制的電路圖案通過(guò)投影透鏡縮小，將圖案曝光在晶圓上。接著，晶圓在晶圓臺(tái)上依次移動(dòng)，電路圖案在一個(gè)晶圓上重復(fù)曝光。這是當(dāng)下主流的步進(jìn)式光刻機(jī)的制造方式。

隨著摩爾定律的延續(xù)，對(duì)晶體管的數(shù)量、密度要求越來(lái)越高，電路從微米到納米級(jí)別的超精細(xì)圖案經(jīng)過(guò)多層堆疊制成。因此半導(dǎo)體光刻機(jī)也需具備超高精密的技術(shù)，以滿足從微米到納米單位級(jí)別的性能。

來(lái)源：佳能中國(guó)

尼康、佳能何以造光刻機(jī)？

上世紀(jì)60-70年代日本舉國(guó)力發(fā)展半導(dǎo)體，半導(dǎo)體設(shè)備就是首要的制造工具。1978年CGA推出了具有劃時(shí)代意義的步進(jìn)式光刻機(jī)DSW4800，雖然當(dāng)時(shí)全球光刻機(jī)市場(chǎng)一直是美系的天下，但光刻機(jī)的迭代中仍藏著巨大的機(jī)會(huì)，隨著日本廠商尼康、佳能的崛起，光刻機(jī)邁入步進(jìn)式光刻機(jī)的縮放投影時(shí)期。

相機(jī)出身的佳能，光學(xué)廠出身的尼康曾經(jīng)為美國(guó)GCA公司的光刻機(jī)配套光學(xué)鏡頭，積累了一定的光刻機(jī)制作原理和技術(shù)。模仿不失為一種創(chuàng)新的開(kāi)端。佳能缺乏精密技術(shù)，從低端的光刻機(jī)開(kāi)始仿制，1970年日本首臺(tái)半導(dǎo)體光刻機(jī)PPC-1就是佳能發(fā)售的。

而尼康有天文望遠(yuǎn)鏡的加持，其高分辨率攝像頭、高分辨率精密測(cè)控技術(shù)被寄予厚望。尼康拿到GCA的一臺(tái)光刻機(jī)研究，造出了比GCA鏡頭穩(wěn)定性、自動(dòng)化更強(qiáng)的“山寨光刻機(jī)”。尼康于1980年出貨NSR-1010G（分辨率為1.0 µm），從1984年開(kāi)始，幾乎每年都會(huì)出貨至少1款光刻機(jī)。屬實(shí)是拿捏了天文望遠(yuǎn)鏡到十級(jí)開(kāi)啟光刻機(jī)研發(fā)的技能樹(shù)。

上世紀(jì)80年代，日本光刻機(jī)開(kāi)始登上半導(dǎo)體歷史舞臺(tái)，日本的尼康、佳能開(kāi)始與美國(guó)GCA、Ultratech、Eaton，全球光刻機(jī)市場(chǎng)上演美日廠商的精彩對(duì)決。

實(shí)際上，上世紀(jì)80年代中美光刻機(jī)技術(shù)差距曾縮短至7年，1985年由中電科45所研制出的分步式投影光刻機(jī)被電子部技術(shù)鑒定為：達(dá)到GCA在1978年推出的4800DSW光刻機(jī)水平。

1984年，尼康已經(jīng)和GCA平起平坐，各占全球三成市場(chǎng)。同年，ASML成立了。80年代后期到2000年初，尼康光刻機(jī)市場(chǎng)占比超五成，成為上世紀(jì)末當(dāng)之無(wú)愧的光刻機(jī)巨頭。

2000年初，因?yàn)橐粓?chǎng)光刻機(jī)干濕路線之爭(zhēng)，光刻機(jī)市場(chǎng)格局被ASML打破。2004年，ASML和臺(tái)積電共同研發(fā)出全球首臺(tái)浸潤(rùn)式微影機(jī)，憑借優(yōu)秀的性能和穩(wěn)定的技術(shù)，ASML一舉碾壓走“干法”路線的佳能和尼康，尼康、佳能從此淪為二三線半導(dǎo)體設(shè)備廠商。

尼康目前雖然主推ArF浸沒(méi)式技術(shù)，但多數(shù)精力限制于DUV領(lǐng)域的Arf和i－line光刻機(jī)，而DUV只能用于制造7nm及以上制程的芯片。

佳能目前出售的光刻機(jī)涉及i-line到KrF級(jí)別，沒(méi)有浸入式光刻機(jī)，在EUV領(lǐng)域幾乎不可能趕超ASML，正在研究“納米壓印光刻（NIL）”，嘗試以低成本來(lái)制造尖端半導(dǎo)體。

03、日本半導(dǎo)體的興衰

日本相機(jī)大廠背后，也伴隨著日本半導(dǎo)體的興衰。有一家企業(yè)緊跟時(shí)代，開(kāi)啟了日本半導(dǎo)體篇章。

那是上世紀(jì)50年代，誕生于美國(guó)硅谷的半導(dǎo)體成為熊熊燃起的新星，光刻技術(shù)、光刻照相機(jī)、光刻機(jī)依次出現(xiàn)：

1955年貝爾實(shí)驗(yàn)室研究員開(kāi)始把制造印刷電路板的光刻技術(shù)應(yīng)用到硅片上；

1958年第一臺(tái)光刻照相機(jī)被仙童半導(dǎo)體的兩位工程師制造出來(lái)；

1961年美國(guó)GCA公司制造出了全球首臺(tái)光刻機(jī)，從此光刻成為芯片制造中最重要的環(huán)節(jié)。

這家日本企業(yè)就是索尼，彼時(shí)還叫“東京通信工業(yè)”。1953年，東京通信工業(yè)得到了美國(guó)西部電器公司授權(quán)，在1957年成功推出世界上首臺(tái)“可放在口袋里”的半導(dǎo)體收音機(jī)。兩年后的1959年，集成電路被發(fā)明。

1957年，日本政府頒布《電子工業(yè)振興臨時(shí)措施法（電振法）》，通過(guò)立法扶持電子產(chǎn)業(yè)，減少電子產(chǎn)業(yè)公司的征稅，支持日本企業(yè)積極學(xué)習(xí)美國(guó)先進(jìn)技術(shù)，發(fā)展本國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。彼時(shí)索尼推出的小巧收音機(jī)在全球大賣，風(fēng)靡一時(shí)，大家都被半導(dǎo)體和集成電路在消費(fèi)電子領(lǐng)域的巨大潛力震撼了。

依靠低端的收音機(jī)領(lǐng)域，以索尼為代表的的日企開(kāi)啟了半導(dǎo)體領(lǐng)域的新紀(jì)元。在日本，各家企業(yè)大展身手，以晶體管開(kāi)發(fā)消費(fèi)電子產(chǎn)品為開(kāi)端，在20世紀(jì)誕生了一家家電器巨人。

1962年，日本半導(dǎo)體霸主NEC從美國(guó)仙童半導(dǎo)體購(gòu)買了平面光刻的生產(chǎn)工藝，擁有了集成電路的制造能力，同一時(shí)期日本的日立、東芝、和美國(guó)的RCA、通用電氣、達(dá)成了技術(shù)轉(zhuǎn)讓協(xié)議。60年代后半期開(kāi)始，日本開(kāi)始進(jìn)入大規(guī)模自主研發(fā)的階段。

槍打出頭鳥(niǎo)，美國(guó)不會(huì)眼睜睜看著日本超越自己。1972年日本半導(dǎo)體被美國(guó)以反傾銷理由實(shí)施制裁，而日本內(nèi)部半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展路徑也暴露出問(wèn)題。

強(qiáng)行精益求精的產(chǎn)品思路被追求物美價(jià)廉的韓國(guó)和中國(guó)臺(tái)灣打敗，早期無(wú)法接受芯片代工錯(cuò)失整個(gè)行業(yè)垂直分工的大潮，數(shù)字時(shí)代的“閉關(guān)鎖國(guó)”，排斥技術(shù)革新等也讓日本在半導(dǎo)體道路上越走越窄。

結(jié)局是慘痛的，特別是日本曾引以為豪的半導(dǎo)體光刻機(jī)領(lǐng)域，2000年左右尼康和佳能終于被自己的對(duì)手ASML打?。ˋSML光刻機(jī)的光學(xué)元件曾被尼康和佳能壟斷）。現(xiàn)在日本唯二能拿得出手的，除了尼康、佳能全球銷售額占比不到10%的半導(dǎo)體設(shè)備，就是半導(dǎo)體材料高純度氟化氫、光刻膠和氟化聚酰胺（其他材料吃不了獨(dú)食）。

ASML顯然在全球光刻機(jī)市場(chǎng)大口吃肉，至于佳能為何時(shí)隔21年在自己非高端機(jī)型的小池子里擴(kuò)產(chǎn)，主要來(lái)自于未來(lái)半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模的擴(kuò)大，對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的需求增加。去年缺“芯”潮，佳能1995年推出的二手光刻機(jī)FPA3000i4 在市場(chǎng)漲價(jià)17倍。

圖片

2021年佳能的i-line、KrF兩類光刻機(jī)出貨量達(dá)140臺(tái)，較2020年出貨增加18臺(tái)，增幅15%，其中出貨主力i-line機(jī)臺(tái)出貨了102臺(tái)。佳能預(yù)測(cè)2022年半導(dǎo)體光刻設(shè)備的銷量比上年增長(zhǎng)29％，增至180臺(tái)，最近10年內(nèi)激增至4倍。建設(shè)新工廠后，2個(gè)基地的總產(chǎn)能將增至約2倍，以此滿足暴增的半導(dǎo)體設(shè)備需求。

雖然高端光刻機(jī)攻不下，但中低端光刻機(jī)還有市場(chǎng)。比如佳能在2021年出貨的新式i線步進(jìn)式光刻機(jī)“FPA-3030i5a”，可以制造硅基以及SiC（碳化硅）和GaN（氮化鎵）等化合物半導(dǎo)體晶圓。佳能還聯(lián)合鎧俠開(kāi)發(fā)NIL工藝，號(hào)稱可以不使用EUV光刻機(jī)將芯片制程提升到5納米水平。

今年是佳能正式投入半導(dǎo)體光刻機(jī)領(lǐng)域的第52周年，我們不知道它能不能成功，但至少還值得再戰(zhàn)一戰(zhàn)。

參考資料：
光刻機(jī)三巨頭（ASML、佳能、尼康）的殊途同歸，半導(dǎo)體行業(yè)觀察
佳能產(chǎn)日本首臺(tái)半導(dǎo)體光刻機(jī)「PPC-1」發(fā)售50周年，佳能中國(guó)
光刻機(jī)戰(zhàn)爭(zhēng)（上）：芯片時(shí)代的開(kāi)啟｜初代機(jī)的勝利，談三圈，bilibili
三井帝國(guó)在布局：揭開(kāi)日本財(cái)團(tuán)的“一帶一路”，白益民
失落的帝國(guó)：日本芯片產(chǎn)業(yè)衰亡啟示錄，毛委員