1627
提到集成電路行業(yè)，那么永遠(yuǎn)繞不過一個(gè)名詞，就是摩爾定律。但摩爾定律只是經(jīng)驗(yàn)之談，本質(zhì)是預(yù)測，并非什么物理層面的約束。
十年前，當(dāng)14納米工藝首次亮相時(shí)，整個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)似乎正處于一個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)。當(dāng)時(shí)，許多專家和分析師已經(jīng)開始質(zhì)疑摩爾定律——這一預(yù)測芯片性能每兩年翻一番的經(jīng)驗(yàn)法則——是否還能繼續(xù)有效。隨著晶體管尺寸的不斷縮小，人們普遍擔(dān)憂物理限制將會(huì)成為難以逾越的障礙，特別是短溝道效應(yīng)、漏電流和隧道效應(yīng)等問題日益突出。這些挑戰(zhàn)不僅威脅到了摩爾定律的延續(xù)，也讓人們對未來芯片技術(shù)的發(fā)展前景產(chǎn)生了懷疑。
當(dāng)時(shí)間來到2024年，等效3nm已經(jīng)商用，而2nm甚至1nm都已被提上日程，未來十年，摩爾定律又將走向何處呢？一些新技術(shù)或許會(huì)給我們帶來答案。
1、3D 異質(zhì)集成
在2023年12月的國際電子器件會(huì)議（IEDM）上，臺(tái)積電（TSMC）展示了它們的未來芯片技術(shù)的發(fā)展藍(lán)圖。著重介紹了兩種主要的集成技術(shù)——3D異質(zhì)集成（3D Heterogeneous Integration）和單片集成（Monolithic Integration），兩者都是推進(jìn)超大規(guī)模新片的主要技術(shù)路線。
定義：異質(zhì)3D集成技術(shù)是指通過垂直堆疊并互連具有不同功能的芯粒（Chiplets），實(shí)現(xiàn)高性能且高密度的芯片封裝與互連技術(shù)。
優(yōu)勢：
工藝靈活性：能夠結(jié)合不同工藝節(jié)點(diǎn)的芯粒，從而實(shí)現(xiàn)最佳的性能和成本效益。
模塊化設(shè)計(jì)：便于更新或替換特定功能的芯粒，提高系統(tǒng)的可升級(jí)性和可維護(hù)性。
傳統(tǒng)的二維平面集成電路是將所有的電路元件和互連層放置在同一個(gè)平面上。相比之下，3D集成技術(shù)則是將不同的芯粒（Chiplets）垂直堆疊在一起。這樣可以在芯片封裝的有限的空間內(nèi)增加更多的立體層次，從而顯著提高單位體積內(nèi)的晶體管密度。
而傳統(tǒng)的單片集成技術(shù)（Monolithic Integration）也就是前面提到二維平面的封裝，指的是在一個(gè)單一的硅基底上采用統(tǒng)一的制造工藝來集成各種不同功能的電路元件，形成一個(gè)高度復(fù)雜的單一大規(guī)模芯片。
優(yōu)勢：
高速信號(hào)傳輸：由于電路元件緊密集成在同一基底上，減少了信號(hào)傳輸路徑，提高了速度。
簡化設(shè)計(jì)：消除了芯片間互連瓶頸，簡化了整體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和驗(yàn)證過程。
3D Hetero Integration依賴先進(jìn)的封裝技術(shù)，而Monolithic Integratio則依賴工藝制程的進(jìn)步。
借助3D Hetero Integration，臺(tái)積電預(yù)計(jì)到2030年左右能夠?qū)崿F(xiàn)集成超過1萬億個(gè)晶體管的芯片解決方案，實(shí)現(xiàn)等效的1nm工藝。
2、晶體管本身技術(shù)的演進(jìn)
這張英特爾的工藝路線演進(jìn)圖標(biāo)出了從90nm到1.8nm每一次工藝進(jìn)步的主要技術(shù)革新點(diǎn)。
我們可以看到，22nm的主要技術(shù)創(chuàng)新是FinFET，Intel 4(7nm)則是采用了EUV光刻，而2nm則是Ribbon FET和PowerVia.
RibbonFET 晶體管結(jié)構(gòu)是GAA的一種，是將 PMOS 和 NMOS 兩極垂直堆疊的晶體管結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)使晶體管面積縮小了一半。
21年的 IEDM 會(huì)議上，IBM 和三星共同宣布了一種新的垂直晶體管架構(gòu) VTFET（垂直傳輸場效應(yīng)晶體管）。
VTFET技術(shù)工藝通過放寬晶體管門長度、間隔厚度和觸點(diǎn)尺寸的物理限制來解決縮放障礙，并在性能和能耗方面對這些功能進(jìn)行優(yōu)化。這樣的布局將讓電流在晶體管堆疊中上下流動(dòng)，而在目前大多數(shù)芯片上使用的設(shè)計(jì)中，電流是水平流動(dòng)的。
由于 FinFET 晶體管性能受到嚴(yán)重的縮放限制，VTFET 則保持了良好的靜電和寄生參數(shù)，在同等功率下 VTFET 晶體管提供了縮放 FinFET 晶體管 2 倍的性能，而在等效頻率下，VTFET 可以節(jié)省 85% 的能耗。
IBM 宣稱，這種新的晶體管結(jié)構(gòu)能夠使半導(dǎo)體器件持續(xù)微縮、提升手機(jī)使用時(shí)間、降低加密采礦等能源密集型流程功耗，以及使物聯(lián)網(wǎng)和邊緣設(shè)備能夠在更多樣的環(huán)境中運(yùn)行等。
時(shí)間再往前追溯，2017 年，IMEC 首次公開提出 Forksheet 器件結(jié)構(gòu)用來微縮 SRAM，2019 年 IMEC 又將這一器件結(jié)構(gòu)用在邏輯芯片標(biāo)準(zhǔn)單元中。仿真結(jié)果顯示，F(xiàn)orksheet 已比傳統(tǒng)納米片有 10% 的速度增益。
下面是東京電子發(fā)布的邏輯芯片路線圖來看，F(xiàn)orksheet 器件結(jié)構(gòu)將用于 1.4nm 節(jié)點(diǎn)上，其芯片密度將是 2nm 的 1.65 倍。
晶體管從平面設(shè)計(jì)走向垂直立體設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)由來已久，并從現(xiàn)在通用的FinFET技術(shù)中獲得了一定的靈感。當(dāng)平面空間已經(jīng)更難讓晶體管進(jìn)行堆疊時(shí)，向上堆疊則是未來的主流進(jìn)化方向。（只考慮三維空間）
3、新材料
新材料對于維持制程演進(jìn)至關(guān)重要，這是因?yàn)殡S著晶體管尺寸的不斷縮小，傳統(tǒng)的材料和技術(shù)面臨著越來越多的物理限制和技術(shù)挑戰(zhàn)。隨著晶體管尺寸的減小，傳統(tǒng)的硅基材料開始展現(xiàn)出一些物理上的局限性，例如隧道效應(yīng)、短溝道效應(yīng)、漏電流等問題變得越來越嚴(yán)重。
新材料有很多方向，如：
高k材料：高k材料用于柵極絕緣層，可以減少電容耦合，提高晶體管的性能。
金屬柵極：金屬柵極取代了傳統(tǒng)的多晶硅柵極，以減少柵極電阻，提高驅(qū)動(dòng)電流。
新型溝道材料：除了硅之外，還可以使用鍺、硅鍺合金或III-V族化合物半導(dǎo)體作為溝道材料，以提高載流子遷移率。
相比硅基材料，二維半導(dǎo)體材料天生具有實(shí)現(xiàn)先進(jìn)制程的潛力。目前，較有代表性的二維半導(dǎo)體材料是過渡金屬二硫化物（TMDs）、如二硫化鎢（WuS2）、二硫化鉬（MoS2）等。，它們具有優(yōu)異的電子性質(zhì)，可用于制作超薄的導(dǎo)電溝道和柵極結(jié)構(gòu)。
下面就是英特爾使用二維半導(dǎo)體材料縮小晶體管結(jié)構(gòu)的例子。
隨著摩爾定律逐漸逼近其物理極限，新材料的開發(fā)和應(yīng)用成為了延續(xù)半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展的重要驅(qū)動(dòng)力之一，如果不知道哪些新材料可用，那么可以翻開元素周期表，開找！
下載ECAD模型
