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半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),誰卡著光刻機(jī)的脖子?

2023/03/15
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01

1945年,二戰(zhàn)接近尾聲時,巴頓將軍率領(lǐng)第三集團(tuán)軍,不顧破壞《雅爾塔協(xié)定》的風(fēng)險,闖入劃給蘇聯(lián)的東德占領(lǐng)區(qū)。他們的目標(biāo)不是軍事重鎮(zhèn),而是一家叫蔡司的公司。

這家公司是光學(xué)領(lǐng)域的佼佼者,戰(zhàn)爭期間為德軍生產(chǎn)望遠(yuǎn)鏡、測距儀、航空攝像機(jī)等,是德軍武器裝備的重要供應(yīng)商。

當(dāng)時戰(zhàn)爭尚未結(jié)束,但美蘇兩國已盯上了德國的科技資源,美國策劃的“回形針行動”,向歐洲派遣了一支由3000名科學(xué)家和專家組成的的技術(shù)部隊(duì),評估篩選德國的科技資源。順便說一句,錢學(xué)森當(dāng)時也在這支特殊的隊(duì)中。

蔡司公司,當(dāng)時被美軍列為首要目標(biāo)之一。

美國人原本打算用600多輛卡車將整個蔡司搬到西德去,不料,由于蘇軍推進(jìn)太過迅速,措手不及之下,美國人決定“拿走公司的大腦”,將蔡司最核心的100多名員工轉(zhuǎn)移到西德,在那里建了個新蔡司。

當(dāng)時美軍的行動主要基于軍工潛力方面的考慮,但恐怕誰也不會想到,這家靠生產(chǎn)光學(xué)鏡頭起家的家族企業(yè),在大半個世紀(jì)后,仍能影響整個世界高科技產(chǎn)業(yè)鏈的格局。

今天,當(dāng)我們討論芯片面臨的卡脖子困境時,談?wù)撟疃嗟模?a class="article-link" target="_blank" href="/e/1601076.html">光刻機(jī),是阿斯麥(ASML)。但其實(shí),光刻機(jī)背后,是一大批歐美的先進(jìn)技術(shù)在支撐,而蔡司是其中最關(guān)鍵的一環(huán)。

目前最先進(jìn)的極紫外光刻機(jī)(EUV),需要極其精密的光學(xué)鏡頭,目前全世界只有蔡司一家能夠做到,別無二家。

可以說,沒有蔡司,就不會有EUV光刻機(jī),也就不會有7nm以下芯片,也就不會有iPhone14這樣強(qiáng)大的智能手機(jī)。

在油管上看到過一期關(guān)于蔡司與半導(dǎo)體工業(yè)的視頻,標(biāo)題就是“沒有這家德國公司,整個現(xiàn)代文明都將崩塌”。這句話有些夸張,但很大程度上也確實(shí)反映了蔡司的重要性。

02

1846年,中國還是大清朝道光年間,一個叫卡爾·蔡司的德國工匠創(chuàng)建了一個小作坊,生產(chǎn)顯微鏡和其他測量儀器,就是今天蔡司的前身。

170多年來,蔡司鏡頭憑借完美的設(shè)計和高超的工藝技術(shù),在光學(xué)領(lǐng)域始終走在世界最前列。

蔡司成立不久后,便與附近的耶拿大學(xué)建立了合作關(guān)系。1863年,耶拿大學(xué)一個叫恩斯特·阿貝的物理學(xué)家來到蔡司的車間,讓蔡司給他制造幾臺做物理實(shí)驗(yàn)需要用到儀器。

這位物理學(xué)家后來成為蔡司的研究總監(jiān)和股東,對蔡司產(chǎn)生了深遠(yuǎn)的影響。

阿貝將最前沿的光學(xué)理論引入到產(chǎn)品生產(chǎn)中。尤其是他1872 年提出的顯微成像波動理論,基于數(shù)學(xué)模型來設(shè)計光學(xué)鏡頭,取代了過去低效的試錯法,使蔡司成為光學(xué)領(lǐng)域的領(lǐng)先者。

1888年12月,公司創(chuàng)始人去世,阿貝做了個重要決定:把他所有的股份都放在一個名叫卡爾·蔡司的基金會里,他還拉來另外兩家公司也加入基金會,并為基金會制定了章程。

按照章程,蔡司公司的利潤為除了用于公司發(fā)展,剩余的利潤通過基金會來資助科學(xué)研究、文化活動和員工福利計劃。

阿貝還率先引入8小時工作制,提供帶薪休假等福利,而當(dāng)時德國的其他工廠,工人每天平均工作10小時。

那時候,是1900年。德國首任總統(tǒng)西奧多·豪伊斯稱阿貝為“理性主義圣人”。

卡爾·蔡司與恩斯特·阿貝

到1914年,第一次世界大戰(zhàn)前夕,蔡司已經(jīng)發(fā)展成為世界最大的相機(jī)生產(chǎn)公司,他們生產(chǎn)的雙筒望遠(yuǎn)鏡也大受軍方歡迎,為公司帶來了滾滾訂單。

盡管20世紀(jì)上半葉戰(zhàn)亂不斷,德國又先后經(jīng)歷了兩次世界大戰(zhàn),但蔡司的業(yè)務(wù)還是飛速擴(kuò)張,從最開始的顯微鏡到相機(jī)、望遠(yuǎn)鏡,再到后來的攝像機(jī)、天文望遠(yuǎn)鏡,當(dāng)年的小作坊,逐漸成為光學(xué)領(lǐng)域的無冕之王。

二戰(zhàn)期間,蔡司生產(chǎn)的光學(xué)元件在德軍武器裝備中起到了重大作用。當(dāng)然,戰(zhàn)爭后期當(dāng)盟軍對德國進(jìn)行轟炸破壞時,蔡司也成為重要目標(biāo)。

再接著,便是本文開頭提到的“回形針行動”。

美國戰(zhàn)略情報局先后將1600多名德國科學(xué)家和工程師轉(zhuǎn)移,很多后來去了美國,其中最著名的是研發(fā)德國V-2火箭的馮·布勞恩。這些科學(xué)家為后來美國贏得太空競賽打下了根基。

在這場行動中,蔡司的核心人才也被美軍搶走,而遲了一步的蘇聯(lián),只好把剩下的機(jī)器設(shè)備統(tǒng)統(tǒng)搬到蘇聯(lián),蔡司也自此一分為二,在兩種完全不同的體制下繼續(xù)存活。

蔡司是一家在大眾層面相對低調(diào)的公司,但在人類歷史上很多重大歷史時刻,都能看到它的身影。

1969年,阿波羅11號登陸月球,當(dāng)時宇航員攜帶了兩臺哈蘇相機(jī),搭載的就是蔡司生產(chǎn)的鏡頭,在月球上拍下了眾多意義非凡的照片。

這兩臺相機(jī),至今仍留在月球上。

這張著名的照片便是來自蔡司鏡頭

1989年,柏林墻倒塌,東西德已分開數(shù)十年的兩家蔡司試圖合并。

當(dāng)時東德蔡司人員臃腫,有多達(dá)5萬名員工,但其中許多人是只掛名不工作。對這個混得實(shí)在不怎么樣的東德“表兄”,西德蔡司實(shí)在沒啥興趣,不過最后還是迫于政治壓力勉強(qiáng)接受了合并。

其實(shí),西德蔡司當(dāng)時也有著自己的煩惱。

80年代,隨著日本佳能、尼康的崛起,蔡司的鏡頭在相機(jī)領(lǐng)域開始失去競爭力,市場不斷被蠶食,就連以前的老客戶哈蘇相機(jī),也開始轉(zhuǎn)向日本公司生產(chǎn)的鏡頭。

不過,就在這時候,一家成立不久的荷蘭小公司找上門來,開始了與蔡司相愛相殺至今的傳奇經(jīng)歷。

這家當(dāng)時名不見經(jīng)傳的小公司,就是如今半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)皇冠上的明珠、光刻機(jī)領(lǐng)域的王者,阿斯麥(ASML)。

03

ASML對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來說有多重要?用ASML總裁彼得·溫寧克在2017年接受專訪時說的一句話就是:

“如果我們交不出EUV光刻機(jī),摩爾定律就會從此停止?!?/p>

目前,摩爾定律的極限已實(shí)現(xiàn)5nm制程,接近3nm、2nm,想要實(shí)現(xiàn)這一制程節(jié)點(diǎn),就一定要用到荷蘭ASML的EUV光刻機(jī)。

一臺EUV售價高達(dá)1億歐元,堪稱印鈔機(jī),而且排隊(duì)搶著買還不一定能買到。

不過回到上世紀(jì)80年代,ASML剛成立時,境況只能用慘淡來形容。

ASML脫胎于大名鼎鼎的飛利浦,前期主要的技術(shù)來源也是飛利浦的NatLab實(shí)驗(yàn)室。不過,1984年從飛利浦獨(dú)立出來時,ASML可以說是一窮二白,連辦公場所都是在飛利浦旁邊臨時搭的“窩棚”。

好在當(dāng)時公司有個比較能“畫餅”的CEO,硬拉著一幫員工鼓舞士氣,一步步搞出了被市場接受的光刻機(jī)。

不過,在摩爾定律推動下,隨著集成電路的飛速發(fā)展,對光刻機(jī)的要求也越來越高,而對光刻機(jī)性能影響最關(guān)鍵的,是其中的光學(xué)元件。

ASML的工程師發(fā)現(xiàn),他們之前的光學(xué)鏡頭供應(yīng)商開始無法滿足需要。找來找去,蔡司進(jìn)入了荷蘭人的視野。

當(dāng)他們前往蔡司拜訪時,接待他們的是蔡司數(shù)學(xué)部門負(fù)責(zé)人格拉策爾,他是全球光學(xué)屆的翹楚,為哈蘇相機(jī)設(shè)計過廣角鏡頭,為此還贏得了NASA頒發(fā)的阿波羅成就獎。

在等級森嚴(yán)的蔡司,最重要的部門是數(shù)學(xué)部門,數(shù)學(xué)家屬于最高階層,他們的工作是進(jìn)行透鏡相關(guān)的計算。他們有自己寬敞的辦公室,就連午餐時間都比其他人要長。

ASML與蔡司的合作很不順利,很長時間里,兩家都在扯皮和掐架。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域,蔡司自1968年便開始為電路板曝光設(shè)備提供鏡頭。不過,這塊兒一直屬于邊緣業(yè)務(wù),蔡司并不重視,對ASML這家成立沒幾年的小公司,當(dāng)然更不上心。

當(dāng)時,ASML雄心勃勃,推出了具有革命性意義的PAS 5500光刻機(jī),可以成像0.5~0.6微米的細(xì)節(jié),獲得了市場認(rèn)可,ASML計劃批量生產(chǎn)。

但這一機(jī)型需要的光學(xué)鏡頭不僅要求極高,數(shù)量也多,而蔡司蝸牛一般的速度,根本無法滿足要求。

ASML也想過找替代供應(yīng)商,但都以失敗而告終。沒辦法,光刻機(jī)所需要的光學(xué)鏡頭變得越來越精密,越來越復(fù)雜,看遍全世界,只有蔡司一家能做到。

ASML的命運(yùn),就掌握在蔡司手里。

蔡司的作風(fēng)古板而傳統(tǒng),當(dāng)時還在用傳統(tǒng)的工匠打磨方式生產(chǎn)鏡頭:手動拋光,肉眼分辨瑕疵,反復(fù)修正,這需要有多年工作經(jīng)驗(yàn)的技工才能做到。在蔡司,這種技工被稱為“金手指”,每名技工的平均培養(yǎng)時間是6~10年。

1990年,蔡司有6名這樣的“金手指”,PAS 5500光刻機(jī)需要的i線鏡頭,他們就算拼命苦干,每年也只能交付10個。

這時候,蔡司終于開始意識到,公司傳統(tǒng)的手工生產(chǎn),是時候退出歷史舞臺了。

蔡司的光學(xué)實(shí)驗(yàn)室(O-Lab)開始研發(fā)下一代鏡頭生產(chǎn)技術(shù),主要目標(biāo)便是實(shí)現(xiàn)精度更高、速度更快的自動化生產(chǎn)。

他們自己設(shè)計開發(fā)各種關(guān)鍵技術(shù):激光干涉測量、自動拋光、自動控制,將蔡司的鏡頭帶向了下一代,也讓ASML一步步走上光刻機(jī)霸主之位。

04

在講述ASML歷史的《光刻巨人》這本書中,蔡司的身影伴隨始終。憑借其先進(jìn)的工藝技術(shù),半個世紀(jì)以來,蔡司推動芯片制程縮小了三個量級。

如今,蔡司的四大事業(yè)群中,半導(dǎo)體制造已被排到第一位,全球80%的半導(dǎo)體芯片,需要使用蔡司制造的鏡頭,才能制造出比頭發(fā)絲還要細(xì)數(shù)千倍的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)。

可以說,這家低調(diào)的德國公司,是半導(dǎo)體領(lǐng)域的幕后之王。

一臺EUV光刻機(jī),由超過10萬個零件組成,涉及5000多家供應(yīng)商。幾個核心部分,除了蔡司的鏡頭,它還需要美國Cymer公司的的光源系統(tǒng),德國的精密儀器等等。

完全可以說,光刻機(jī)是西方現(xiàn)代工業(yè)體系的集大成,是人類工業(yè)革命以來制造業(yè)的皇冠。

中國要突破這條產(chǎn)業(yè)鏈的所有環(huán)節(jié),靠山寨和逆向工程顯然不可能,必須沉下心來,在基礎(chǔ)研究領(lǐng)域有所作為。

正如任正非曾感慨:我們國家修橋、修路、修房子,已經(jīng)習(xí)慣了只要砸錢就行,但芯片只砸錢不行,還要砸數(shù)學(xué)家、物理學(xué)家、化學(xué)家……

回顧歷史,光是蔡司一家,背后就是長達(dá)170多年的技術(shù)積淀,無數(shù)科學(xué)家和工程師在反反復(fù)復(fù)的試驗(yàn)與探索中,才將光學(xué)技術(shù)推進(jìn)到了今天登峰造極的地步。

蔡司在超凈室裝配光刻機(jī)的光學(xué)模塊

而ASML這家相對年輕的公司,除了技術(shù)上攻堅克難,更重要的,恐怕還包括市場運(yùn)作和供應(yīng)鏈整合。這種繼承全球資源為我所用的模式,對ASML的成功起到了關(guān)鍵作用。

比如,在EUV研發(fā)后期,ASML引入了大客戶投資,英特爾、臺積電和三星共同出資數(shù)十億歐元,參與EUV光刻機(jī)的研發(fā)。

這不僅減輕了ASML自身的資金壓力,還提前搞定了主要客戶,逼迫競爭對手不得不放棄研發(fā)同類產(chǎn)品。

卡著光刻機(jī)脖子的,既有蔡司這樣技術(shù)雄厚的百年老店,也有ASML對整個產(chǎn)業(yè)鏈的整合能力。所謂卡脖子,表面看卡的是某幾項(xiàng)技術(shù),實(shí)際上背后是整個體系的較量。

那么與此相對應(yīng),我們需要的,既有對基礎(chǔ)科學(xué)的持續(xù)深耕,也有開放的心態(tài),以及培育頂級創(chuàng)新公司的土壤。

蔡司

蔡司

蔡司是全球范圍內(nèi)先鋒的光學(xué)與光電行業(yè)科技集團(tuán)。蔡司集團(tuán)專注于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售測量技術(shù)、顯微鏡、醫(yī)療技術(shù)、眼鏡片、攝影和電影鏡頭、雙筒望遠(yuǎn)鏡和半導(dǎo)體制造設(shè)備等。

蔡司是全球范圍內(nèi)先鋒的光學(xué)與光電行業(yè)科技集團(tuán)。蔡司集團(tuán)專注于開發(fā)、生產(chǎn)和銷售測量技術(shù)、顯微鏡、醫(yī)療技術(shù)、眼鏡片、攝影和電影鏡頭、雙筒望遠(yuǎn)鏡和半導(dǎo)體制造設(shè)備等。收起

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