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刻蝕設備

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刻蝕設備的發(fā)展和光刻技術,互連技術密切相關。High K / Low K材料,銅互連,Metal Gate,double Pattern等技術的發(fā)展都對刻蝕設備提出了新的需求·

刻蝕設備的發(fā)展和光刻技術,互連技術密切相關。High K / Low K材料,銅互連,Metal Gate,double Pattern等技術的發(fā)展都對刻蝕設備提出了新的需求·收起

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