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2015 年，美國商務(wù)部工業(yè)和安全局(BIS)發(fā)布了一個(gè)特別的公告：由于中國一家公司已經(jīng)做出了和美國設(shè)備公司有相同質(zhì)量和數(shù)量的等離子體刻蝕機(jī)，所以取消對中國的刻蝕機(jī)出口管制。
這家公司正是中微公司——全球半導(dǎo)體設(shè)備“新星”。
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2019 年中國大陸刻蝕設(shè)備市場規(guī)模達(dá) 32 億美元，約合 226 億元。其中，在本土晶圓廠的刻蝕設(shè)備市場中，77%的市場份額被國際三家刻蝕設(shè)備龍頭壟斷。而國產(chǎn)品牌中，中微以市占率 17%、北方華創(chuàng)市占率 4%成為國產(chǎn)刻蝕的中堅(jiān)力量。
中微公司聯(lián)合創(chuàng)始人倪圖強(qiáng)曾表示，中微公司與泛林半導(dǎo)體、應(yīng)用材料、東京電子、日立等 4 家美日企業(yè)組成了國際第一梯隊(duì)，為 7 納米芯片生產(chǎn)線供應(yīng)刻蝕機(jī)，如今通過臺積電驗(yàn)證的 5 納米刻蝕機(jī)，預(yù)計(jì)能獲得比 7 納米更大的市場份額。
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半導(dǎo)體行業(yè)一直以來就是一個(gè)高度集中的行業(yè)，中微之前,全球能夠提供等離子刻蝕機(jī)和化學(xué)薄膜沉積設(shè)備的企業(yè)共有四家,其中三家位于硅谷,分別是應(yīng)用材料、泛林公司(LAM)和諾法公司(NVLS),另外一家東京電子(TEL)位于日本。中微的出現(xiàn)，使得這些龍頭企業(yè)變得警惕起來。對他們來說，中微做的就是試圖在這一市場分一杯羹，而這正是巨頭們不愿意看到的。
2015 年，公司獲得產(chǎn)業(yè)大基金 4.8 億元投資，這也是大基金在上海半導(dǎo)體行業(yè)的第一筆投資。自 2004 年成立伊始，中微公司首先開發(fā)甚高頻去耦合等離子體刻蝕設(shè)備涵蓋?65 nm、45 nm、32 nm、28 nm、22 nm、14 nm、7 nm微觀器件的眾多刻蝕應(yīng)用。
2019 年中微半導(dǎo)體在5nm蝕刻機(jī)領(lǐng)域上完成了突破，從 65nm 到 5nm, 中微用了 11 年的時(shí)間追趕上主流半導(dǎo)體的步伐。去年 7 月 22 日，在萬眾期待之下，中微作為科創(chuàng)板首批 25 家企業(yè)之一正式上市！截至 2020 年 7 月 17 日，中微市值突破千億，成為科創(chuàng)板目前僅有的 6 家市值超千億的上市公司之一，儼然是中國芯片產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)之一。目前中微已經(jīng)開始量產(chǎn) 5nm 蝕刻機(jī)設(shè)備，并且被臺積電采購用于生產(chǎn) 5nm 芯片。將于 2021 年投入生產(chǎn)，日后為華為、蘋果和高通等廠商生產(chǎn) 5nm 制程工藝芯片。
在半導(dǎo)體這個(gè)波動幅度大的行業(yè)中，中微公司近幾年的業(yè)績卻表現(xiàn)相對穩(wěn)定，2016 年至 2019 年，中微公司的營業(yè)收入分別為6.1 億元、9.7 億元、16.4 億元和 19.5 億元。對于業(yè)績穩(wěn)定增長，尹志堯表示，主要受三個(gè)因素驅(qū)動：等離子體刻蝕機(jī)的市場迅速增長、MOCVD 設(shè)備的市場需求增長和國內(nèi)集成電路制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
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在尹志堯看來，只有未雨綢繆、不斷擴(kuò)展設(shè)備種類和市場覆蓋面，才能不懼波動、穩(wěn)固向前。
