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刻蝕設(shè)備的發(fā)展和光刻技術(shù),互連技術(shù)密切相關(guān)。High K / Low K材料,銅互連,Metal Gate,double Pattern等技術(shù)的發(fā)展都對刻蝕設(shè)備提出了新的需求·
刻蝕設(shè)備的發(fā)展和光刻技術(shù),互連技術(shù)密切相關(guān)。High K / Low K材料,銅互連,Metal Gate,double Pattern等技術(shù)的發(fā)展都對刻蝕設(shè)備提出了新的需求·收起
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