親探ASML，不只是一家光刻機(jī)公司

“ASML一直是一家低調(diào)的公司，但這幾年隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，成為‘網(wǎng)紅’公司，連行業(yè)外的人都知道光刻機(jī)這么“小眾”的半導(dǎo)體設(shè)備了。” ASML全球高級(jí)副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波打趣道。

 
圖 | ASML全球高級(jí)副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波

ASML到底是一家怎樣的公司，扮演著怎樣的角色？

從歷史的維度來看，ASML誕生于上世紀(jì)八十年代，從公司成立時(shí)的簡(jiǎn)易房小棚子到現(xiàn)在擁有186億歐元年?duì)I收額的全球性公司，歷經(jīng)三十多年的蛻變，已經(jīng)成為半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的佼佼者。

  
圖 | 2017-2021年ASML營(yíng)收情況

是什么因素讓ASML取得成功？沈波直言：“ASML的成功一方面得益于開放式創(chuàng)新的策略，以共創(chuàng)共贏的方式做活生態(tài)；另一方面得益于始終如一地專注于光刻領(lǐng)域。”

至于ASML在業(yè)界扮演著怎樣的角色？沈波表示：“整個(gè)芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈涉及眾多供應(yīng)商和芯片制造設(shè)備，每一步工藝和每一臺(tái)設(shè)備，都舉足輕重。作為產(chǎn)業(yè)鏈上的重要一環(huán)，ASML并不是獨(dú)行俠，而是開放合作的行業(yè)發(fā)展理念的積極倡導(dǎo)者。”

 
圖 | 芯片制造流程與行業(yè)合作

ASML在中國(guó)，不只賣光刻機(jī)

外界對(duì)ASML的關(guān)注，更多集中在于ASML無法向中國(guó)大陸供貨EUV光刻機(jī)上。實(shí)際上ASML在行業(yè)內(nèi)的合作和參與深度，是外界無法想象的。很多客戶都授予ASML“最佳合作伙伴”獎(jiǎng)。從財(cái)務(wù)的角度來看，2021年ASML在全球的營(yíng)收為186億歐元，在中國(guó)的營(yíng)收為27億歐元，營(yíng)收占比約為全球的14.7%，是其營(yíng)收組成中重要的一部分。

盡管受到地緣政治的影響不可否認(rèn)，但ASML一直秉持開放合作的行業(yè)發(fā)展理念，不希望半導(dǎo)體的產(chǎn)業(yè)鏈變得撕裂，從1988年第一臺(tái)步進(jìn)式光刻機(jī)進(jìn)入中國(guó)起，積極響應(yīng)中國(guó)集成電路行業(yè)的需求。目前，ASML正在為在中國(guó)的客戶提供包括光刻機(jī)臺(tái)、計(jì)算光刻、光學(xué)和電子束量測(cè)在內(nèi)的全方位光刻解決方案。此外，ASML旗下的光源公司Cymer在中國(guó)也為客戶提供用于DUV光刻機(jī)的ArF和KrF光源產(chǎn)品組合。

圖 | ASML在中國(guó)

為了支持中國(guó)市場(chǎng)，ASML在中國(guó)不僅擁有由700多名客戶服務(wù)工程師組成的中國(guó)專業(yè)客服團(tuán)隊(duì)，還組建了虛擬技術(shù)專家團(tuán)隊(duì)，來解決各種復(fù)雜問題，以卓越的服務(wù)能力與在客戶緊密合作。

舉個(gè)例子，當(dāng)有客戶的產(chǎn)線布局需要進(jìn)行制程跨越的時(shí)候，ASML會(huì)配合去協(xié)調(diào)機(jī)器本身的配置、根據(jù)客戶產(chǎn)品的特點(diǎn)在供應(yīng)流程上的調(diào)整、產(chǎn)線布局的優(yōu)化、產(chǎn)品產(chǎn)能的優(yōu)化，以及產(chǎn)品良率的提升等，對(duì)此提供建議并配合客戶進(jìn)行優(yōu)化。因此，ASML不只是一家出售光刻機(jī)公司，機(jī)器的型號(hào)是相對(duì)固定的，而如何幫助客戶提升產(chǎn)能和良率則是靈活的。

此外，光刻機(jī)的構(gòu)造非常精密，難免會(huì)遇到疑難雜癥，而晶圓廠停機(jī)的成本是非常大的，所以當(dāng)遇到問題時(shí)，如何在最短時(shí)間內(nèi)解決問題保障客戶實(shí)現(xiàn)正常的生產(chǎn)，再同步去分析問題，這是非常難的一個(gè)挑戰(zhàn)。

在疫情封控期間，ASML征集了一批志愿者工程師在閉環(huán)管理下常駐客戶的工廠，以確保其設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和持續(xù)生產(chǎn)，其中最長(zhǎng)的一呆就是七十幾天。這種緊密的合作，也得到了客戶的充分認(rèn)可和信任，其中不乏“最美逆行工程師”等各種客戶認(rèn)可獎(jiǎng)項(xiàng)。

據(jù)悉，本土團(tuán)隊(duì)能夠解決95%的客戶問題，中國(guó)DUV的安裝、升級(jí)、遷移服務(wù)已實(shí)現(xiàn)完全本土化。而2021年新建立的ASML中國(guó)維修中心，也將逐步開始向中國(guó)客戶交付零部件，幫助客戶縮短維修周期并提高成本效益。

親探ASML：一線服務(wù)工程師不容易

為了進(jìn)一步了解光刻機(jī)，筆者參加了ASML中國(guó)的媒體開放日，并參觀了其在上海的全球培訓(xùn)中心，來了一場(chǎng)和光刻機(jī)的親密接觸。

位于上海的全球培訓(xùn)中心，是ASML全球六大培訓(xùn)中心之一，成立于2017年，2018年正式投入使用。ASML中國(guó)區(qū)人力資源總監(jiān)王洪瑞在參觀前的在線分享中提到：“對(duì)于進(jìn)入ASML的客戶服務(wù)工程師，無論他們是剛參加工作還是有一定工作經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于光刻機(jī)領(lǐng)域的了解還是不夠的。所以對(duì)于這些新員工，ASML會(huì)安排40-50周的培訓(xùn) ，其中包括10-15周的DUV和應(yīng)用的理論和實(shí)踐培訓(xùn)。”這個(gè)位于上海的全球培訓(xùn)中心正是為員工提供相關(guān)培訓(xùn)課程的地方之一，同時(shí)它還可以為客戶提供培訓(xùn)課程。

在進(jìn)入無塵環(huán)境的培訓(xùn)室前，我們都被安排穿上無塵服，從發(fā)帽、頭盔、無塵服、帶鋼片的防護(hù)鞋、帽子、口罩、眼鏡到手套，全副武裝，光穿這套裝備就花了十幾分鐘，穿完后進(jìn)入除塵消毒通道，上一層樓再進(jìn)入除塵消毒通道進(jìn)行二次除塵消毒，經(jīng)過特殊地帶還要外加一個(gè)安全帽，這才算一個(gè)合格的聽課者。這種培訓(xùn)環(huán)境和著裝要求和真實(shí)的客戶現(xiàn)場(chǎng)保持一致。

 
圖 | ASML講師向?qū)W員講解DUV相關(guān)課程

我們一邊聽講一邊提問，從光刻機(jī)的結(jié)構(gòu)原理、功能設(shè)計(jì)，到光刻的能耗等。據(jù)悉，光刻機(jī)主要有照明及物鏡模組、掩模版?zhèn)魉图捌脚_(tái)模組和晶圓傳送及平臺(tái)模組組成。整個(gè)光刻的過程將經(jīng)歷幾十次的曝光、顯影與烘烤、刻蝕、離子注入、光刻膠去除、沉積、光刻膠涂覆這樣一個(gè)循環(huán)過程，逐層把掩模版上的電路圖轉(zhuǎn)移到晶圓上，形成最終如3D建筑般的片上電路。

此外，本次ASML還安排了光學(xué)量測(cè)儀器YieldStar的參觀，該機(jī)臺(tái)可嵌套在顯影設(shè)備中使用，亦可單獨(dú)使用，采用抽檢的方式判斷光刻設(shè)備的對(duì)準(zhǔn)情況，達(dá)到實(shí)時(shí)反饋校準(zhǔn)的目的。

短短1小時(shí)多的親身體驗(yàn)過程已讓人悶得難受，這些產(chǎn)線上的工程師實(shí)在是辛苦。而他們的辛苦不僅得到了公司的充分認(rèn)可，并能夠獲得切實(shí)的關(guān)懷。 ASML為了吸引并保留更多的本土優(yōu)質(zhì)多元人才，不僅提供了業(yè)內(nèi)頗具競(jìng)爭(zhēng)力的薪酬福利，并著眼在身體健康、心理健康、財(cái)務(wù)健康、社交健康、職業(yè)發(fā)展健康這五大健康管理維度關(guān)愛員工，創(chuàng)造了極具吸引力的工作環(huán)境；更提供了完善的培訓(xùn)體系，如定制化培訓(xùn)、年度技術(shù)培訓(xùn)、軟技能培訓(xùn)和角色輪崗等，快速提升人才的成長(zhǎng)過程。

王洪瑞強(qiáng)調(diào)：“崇尚‘3C’文化——挑戰(zhàn)求精（Challenge），合作共進(jìn)（Collaborate）和關(guān)愛致遠(yuǎn)（Care）是ASML的理念和堅(jiān)守，飽含著ASML對(duì)人才的尊重和投入。ASML希望與多元人才攜手，不斷拓展光刻技術(shù)的邊界，驅(qū)動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新來解決人類生活中各種嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。”