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作者 | 方文三
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為我國戰(zhàn)略科技力量的核心支柱產(chǎn)業(yè)，其半導(dǎo)體零部件領(lǐng)域的發(fā)展對于推動我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展具有至關(guān)重要的影響。
新質(zhì)生產(chǎn)力加速國內(nèi)產(chǎn)業(yè)演進(jìn)
新質(zhì)生產(chǎn)力是推動新舊動能轉(zhuǎn)換、引領(lǐng)經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型過程的關(guān)鍵動力。
通過新質(zhì)生產(chǎn)力賦能傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)改造、轉(zhuǎn)型、升級，可以促進(jìn)產(chǎn)業(yè)智能化、綠色化、高端化發(fā)展。
從全球視角來看，新質(zhì)生產(chǎn)力在國際貿(mào)易中具有重要作用。
一方面，新質(zhì)生產(chǎn)力通過技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)升級提升我國產(chǎn)品競爭力；
另一方面，借助在線電子商務(wù)平臺，實現(xiàn)貿(mào)易伙伴多元化，降低對單一市場的依賴。
新質(zhì)生產(chǎn)力的發(fā)展還有助于緩解技術(shù)封鎖，推動我國科技創(chuàng)新和自主可控能力的提升。
新質(zhì)生產(chǎn)力要求科技創(chuàng)新引領(lǐng)及產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級發(fā)展（信息化、數(shù)字化及智能化），因此建議關(guān)注競爭格局較好的半導(dǎo)體設(shè)備及零部件產(chǎn)業(yè)鏈。
零部件價值在半導(dǎo)體設(shè)備總價值中占比近半
半導(dǎo)體設(shè)備由眾多復(fù)雜零部件構(gòu)成，這些零部件的性能、品質(zhì)和精度直接影響著設(shè)備的可靠性與穩(wěn)定性。
因此，半導(dǎo)體設(shè)備零部件需在材料、結(jié)構(gòu)、工藝、品質(zhì)、精度、可靠性及穩(wěn)定性等方面滿足半導(dǎo)體設(shè)備及技術(shù)的要求。
半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)能力取決于零部件的保障。可以說，半導(dǎo)體設(shè)備零部件是整個半導(dǎo)體行業(yè)的基石。
半導(dǎo)體設(shè)備零部件是半導(dǎo)體設(shè)備廠商的主要成本來源，約占營業(yè)成本的90%，并占半導(dǎo)體設(shè)備總價值量的50%。
從成本角度來看，零部件采購額通常占據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)成本的90%以上，是半導(dǎo)體設(shè)備的基礎(chǔ)和核心。
據(jù)預(yù)測，到2030年，我國半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場預(yù)期規(guī)模將達(dá)到約180億美元。
根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到1076億美元，我國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到283億美元，占全球半導(dǎo)體設(shè)備規(guī)模的26%。
預(yù)計到2026年底，我國晶圓制造產(chǎn)能有望超過340萬片/月。相應(yīng)地，預(yù)計2020年至2026年，我國晶圓廠用于制造芯片流程中替換零部件的采購額將從10億美元增長至19億美元左右。
“小”賽道做“大”生意
所謂的[小]賽道，是因為各個細(xì)分領(lǐng)域都非常精細(xì)，單一產(chǎn)品的市場容量有限。
比如流量計、密封圈等零部件，對精度和材料要求很高，而且同類型產(chǎn)品型號眾多，不同類別之間的工作原理差別很大。
正因為高精度和碎片化的特點(diǎn)，純粹的半導(dǎo)體零部件公司并不多見。
國際上領(lǐng)先的半導(dǎo)體零部件企業(yè)通常采用跨行業(yè)多產(chǎn)品線的發(fā)展戰(zhàn)略，半導(dǎo)體零部件只是其中的一項業(yè)務(wù)。
比如MKS儀器公司，在氣體壓力計、反應(yīng)器、射頻/直流電源、真空產(chǎn)品、機(jī)械手臂等領(lǐng)域都占據(jù)主要市場份額。
設(shè)備的零部件通常占設(shè)備總支出的70%左右，以刻蝕機(jī)為例，十種主要關(guān)鍵部件占設(shè)備總成本的85%。
因此，半導(dǎo)體零部件雖然[小]，卻能制約[大]的設(shè)備。
由于部分零部件短缺，許多國產(chǎn)設(shè)備廠商采取了3-4倍的超前采購策略。
比如北方華創(chuàng)去年采購總額高達(dá)176億，即使設(shè)備可以國產(chǎn)，數(shù)量仍然不足以滿足需求。
一方面，半導(dǎo)體設(shè)備廠商需要大量的定制化原裝零部件，這部分主要由零部件廠商提供。
VLSI數(shù)據(jù)顯示，2020年半導(dǎo)體設(shè)備子系統(tǒng)市場銷售規(guī)模接近100億美元，其中維修和支持服務(wù)占46%，零部件產(chǎn)品銷售占32%，替換升級占22%。
另一方面，晶圓代工廠商的需求也在增長。國內(nèi)主流代工廠全年日常運(yùn)營中領(lǐng)用的零部件（包括更換和失效更換）超過2000種。
因此，半導(dǎo)體制造廠往往會直接采購作為耗材或備件的零部件及相關(guān)服務(wù)。
對于設(shè)備制造商來說，替換零件能帶來高利潤并穩(wěn)定收入。即使在經(jīng)濟(jì)低迷時期，芯片制造商控制投資，仍會繼續(xù)購買替換零件。
國內(nèi)具有代表屬性的企業(yè)情況
①富創(chuàng)精密：作為國內(nèi)領(lǐng)先的平臺型半導(dǎo)體設(shè)備零部件制造商，富創(chuàng)精密在國產(chǎn)替代的趨勢中占據(jù)前列。
2018至2022年，其營業(yè)收入從2.25億元增長至15.44億元，復(fù)合年增長率（CAGR）高達(dá)62%。
同時，富創(chuàng)精密在中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場的份額也從2018年的0.6%增長至2022年的1.8%。
②中瓷電子：這家國內(nèi)領(lǐng)先的陶瓷材料供應(yīng)商在半導(dǎo)體靜電卡盤領(lǐng)域肩負(fù)起國產(chǎn)化的重任。2022年，中瓷電子的通信類陶瓷產(chǎn)品營業(yè)收入達(dá)到9.5億元，同比增長30%，占營業(yè)總收入的72%。
通信類陶瓷產(chǎn)品仍是中瓷電子的核心業(yè)務(wù)。此外，中瓷電子的靜電卡盤業(yè)務(wù)在2022年實現(xiàn)了800萬元的營業(yè)收入，實現(xiàn)了[從0到1]的突破。
③英杰電氣：作為國內(nèi)領(lǐng)先的射頻電源供應(yīng)商，英杰電氣的相關(guān)產(chǎn)品正在從工業(yè)級向半導(dǎo)體級升級。
目前，全球半導(dǎo)體射頻電源市場基本由海外企業(yè)MKS、AE、日本大阪變壓器株式會社壟斷。
英杰電氣在國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠的認(rèn)證過程中，有望實現(xiàn)國產(chǎn)零的突破。公司的半導(dǎo)體射頻電源已進(jìn)入中微公司MOCVD設(shè)備的供應(yīng)鏈，并在刻蝕、薄膜沉積、離子注入等環(huán)節(jié)開始驗證。
④新松機(jī)器人：已實現(xiàn)量產(chǎn)半導(dǎo)體EFEM和真空機(jī)械手，并向中國半導(dǎo)體設(shè)備廠出貨。
2022年，新松機(jī)器人的EFEM和真空機(jī)械手營業(yè)收入達(dá)到2.4億元。
在國內(nèi)相關(guān)EFEM和真空機(jī)械手市場空間接近50億元的大背景下，新松機(jī)器人的半導(dǎo)體零部件業(yè)務(wù)有望迎來翻倍式增長。
⑤新萊應(yīng)材：其高純、超高純產(chǎn)品正在長鑫存儲、長江存儲、北方華創(chuàng)等國內(nèi)一線廠商的驗證過程中。
新萊應(yīng)材是中國大陸半導(dǎo)體閥門領(lǐng)域的龍頭企業(yè)，也是國內(nèi)少數(shù)通過AMAT、Lam認(rèn)證的半導(dǎo)體設(shè)備零部件供應(yīng)商。
2022年，新萊應(yīng)材的泛半導(dǎo)體業(yè)務(wù)營業(yè)收入達(dá)到7.11億元，同比增長33.6%。
⑥江豐電子：近年來，江豐電子持續(xù)加大投入，構(gòu)建了包括超精密加工、特種焊接、表面處理、超級凈化清洗等在內(nèi)的生產(chǎn)體系，填補(bǔ)了國內(nèi)零部件的產(chǎn)能缺口。
2021年，江豐電子的半導(dǎo)體零部件營業(yè)收入為1.84億元，同比增長239.96%，收入占比11.56%，毛利率23.93%；
2022年上半年，半導(dǎo)體零部件營業(yè)收入為1.77億元，收入占比和毛利率進(jìn)一步提升至16.26%、28.28%。
零部件細(xì)分領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重點(diǎn)突破
①石英制品：作為半導(dǎo)體設(shè)備的重要組成部分和芯片生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵耗材，石英制品的應(yīng)用場景與半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝緊密相連。
據(jù)全球石英玻璃制品終端市場數(shù)據(jù)顯示，半導(dǎo)體石英制品占比高達(dá)65%。據(jù)WSTS數(shù)據(jù)顯示，2021年全球半導(dǎo)體石英制品市場規(guī)模達(dá)到240億元。
我國石英制品行業(yè)主要企業(yè)包括寧波云德、強(qiáng)華股份、菲利華、菲利華石創(chuàng)、東科石英、石英股份、凱德石英等。
②射頻電源：射頻電源在各類電源中較為復(fù)雜，對射頻功率的饋入、匹配器的匹配以及屏蔽和接地等方面具有較高要求。
據(jù)中原證券測算，2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場規(guī)模為513億美元，其中射頻電源約占10%，推算出2021年半導(dǎo)體射頻電源市場規(guī)模約為50億美元。
國內(nèi)廠商英杰電氣在半導(dǎo)體射頻電源領(lǐng)域取得突破，已與國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)展開合作。
③真空泵：真空泵為集成電路制造前道工序四大核心設(shè)備之一，提供制造工藝所需超潔凈真空環(huán)境，負(fù)責(zé)完成物理和化學(xué)氣相沉積、刻蝕、離子注入等超微加工。
據(jù)華經(jīng)產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)，2021年全球半導(dǎo)體真空泵市場規(guī)模為179.7億元，預(yù)計2022年將達(dá)到196.4億元，同比增長9.3%；
其中半導(dǎo)體設(shè)備市場為147.3億元，維修市場為49.1億元。
海外廠商占據(jù)2021年全球半導(dǎo)體真空泵市場95%份額，國內(nèi)廠商如漢鐘精機(jī)、中科儀等已取得突破，未來具有較大國產(chǎn)替代空間。
④閥：據(jù)QYR數(shù)據(jù)，2020年全球共消費(fèi)82.36萬個真空閥，約占全球半導(dǎo)體閥市場33.66%。
據(jù)QYResearch數(shù)據(jù)，2021年全球半導(dǎo)體閥市場規(guī)模為13.74億美元，同比增長17.15%，預(yù)計2027年將達(dá)到19.58億美元，2021-2027年復(fù)合增長率為4.69%。
⑤靜電吸盤：靜電吸盤已成為廣泛應(yīng)用的晶圓夾持工具，是刻蝕設(shè)備、PVD設(shè)備、PECVD設(shè)備、離子注入設(shè)備等核心部件。
據(jù)QYResearch數(shù)據(jù)，2021年全球靜電吸盤市場銷售額為17.14億美元，預(yù)計2028年將達(dá)到24.12億美元，2022-2028年復(fù)合增長率為5.06%。
2021年全球靜電吸盤銷量為5.54萬件，預(yù)計2028年將達(dá)到7.99萬件。
2021年中國靜電吸盤市場規(guī)模為3.19億美元，預(yù)計2028年將達(dá)到5.24億美元，2022-2028年復(fù)合增長率為7.16%。
我國在半導(dǎo)體靜電吸盤領(lǐng)域已實現(xiàn)技術(shù)突破，北京華卓精科科技有限公司、廣東海拓創(chuàng)新精密設(shè)備科技有限公司實現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)，中國臺灣CALITECH亦在靜電卡盤吸盤方面取得一定突破。
⑥機(jī)械手：半導(dǎo)體機(jī)械手可分為大氣機(jī)械手和真空機(jī)械手。
目前大氣機(jī)械手市場占比超過60%。據(jù)QYResearch數(shù)據(jù)，2021年全球半導(dǎo)體機(jī)械手市場銷售額為8.36億美元，預(yù)計2027年將達(dá)到13.47億美元，2021-2027年復(fù)合增長率為8.3%。
2021年中國半導(dǎo)體機(jī)械手市場規(guī)模為1.67億美元，約占全球的20%，預(yù)計2027年將達(dá)到3.61億美元，占比將達(dá)到26.8%。
⑦陶瓷部件：據(jù)專家介紹，陶瓷部件成本占半導(dǎo)體設(shè)備成本10%以上。
市場調(diào)研機(jī)構(gòu)Techcet發(fā)布的報告顯示，作為半導(dǎo)體制造設(shè)備耗材的陶瓷部件市場規(guī)模預(yù)計在2022年達(dá)到23億美元，同比增長15%。
目前，國內(nèi)涉及半導(dǎo)體陶瓷件供應(yīng)的企業(yè)包括蘇州珂瑪、卡貝尼、河南東微電子、三環(huán)集團(tuán)、中瓷電子等。
結(jié)尾：
隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)向我國大陸地區(qū)轉(zhuǎn)移，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備零部件制造商面臨前所未有的發(fā)展機(jī)遇。
在國內(nèi)企業(yè)的發(fā)展階段上，大部分企業(yè)仍處于初期階段，業(yè)務(wù)范疇相對狹窄，總體規(guī)模相對較小。
因此，在短期內(nèi)，乘借國產(chǎn)替代的浪潮，提升核心產(chǎn)品的競爭力成為當(dāng)務(wù)之急。
從長期視角來看，橫向或縱向（部分）拓展業(yè)務(wù)領(lǐng)域是企業(yè)發(fā)展的必然途徑。
部分資料參考：
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)縱橫：《這個半導(dǎo)體“小”賽道，在默默賺大錢》，中銀證券：《半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)研究：乘國產(chǎn)替代之東風(fēng)》，破卷研究：《半導(dǎo)體：（五十二）半導(dǎo)體設(shè)備零部件（下）》，中國電子報：《半導(dǎo)體設(shè)備市場謹(jǐn)慎樂觀，亮點(diǎn)還是有的》
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