1884
作者?|??ZeR0
編輯?|??漠影
三闖科創(chuàng)板！國產(chǎn)關(guān)鍵半導體設備商成功上市，寧德時代曾毓群、中芯國際持股。
芯東西12月23日報道，今日，江蘇半導體薄膜沉積設備供應商微導納米正式登陸科創(chuàng)板。其發(fā)行價為24.21元/股，發(fā)行市盈率412.24倍，開盤價為29.90元/股，漲幅達23.50%；截至09點45分，股價最高上漲28.05%至31.00元/股，總市值約129億元。
刻蝕設備、光刻設備、薄膜沉積設備是集成電路前道生產(chǎn)工藝中最重要的三類設備。其中，薄膜沉積設備投資額占晶圓廠投資總額的16%，占晶圓制造設備投資總額的21%。
▲晶圓廠投資構(gòu)成
微導納米在半導體領(lǐng)域設備實現(xiàn)了“卡脖子”技術(shù)突破，是國內(nèi)首家成功將量產(chǎn)型High-k原子層沉積設備應用于28nm節(jié)點集成電路制造前道生產(chǎn)線的國產(chǎn)設備公司，已在先進邏輯、先進存儲、化合物半導體、新型顯示等細分應用領(lǐng)域均取得了國內(nèi)多家知名半導體公司的商業(yè)訂單。
此前微導納米獲得了工信部2021年第三批專精特新“小巨人”企業(yè)、2021年蘇南國家自主創(chuàng)新示范區(qū)獨角獸企業(yè)、2020年度江蘇省小巨人企業(yè)（制造類）等榮譽稱號。王燕清、倪亞蘭、王磊是微導納米的實際控制人。其中微導納米董事長王磊為1993年生人，是王燕清與倪亞蘭之子。王燕清是全球新能源裝備制造龍頭先導智能的董事長、總經(jīng)理。先導智能于2015年5月在深交所創(chuàng)業(yè)板上市，市值最高曾達1300億元，截至昨日收盤時，市值為約634億元。在2022年胡潤全球富豪榜上，王燕清、倪亞蘭夫婦以330億元財富排名全球第647名，是江蘇無錫首富。
如今，這個家族迎來第二次敲鐘上市時刻。本次IPO，微導納米擬募資10億元，投資基于原子層沉積技術(shù)的半導體配套設備擴產(chǎn)升級項目、集成電路高端裝備產(chǎn)業(yè)化應用中心項目等。
01.先進制程必備工藝設備
薄膜沉積設備主要應用于光伏電池片、半導體晶圓的生產(chǎn)環(huán)節(jié)，直接影響光伏電池片的光電轉(zhuǎn)換效率以及半導體器件性能。薄膜沉積是指在基底上沉積特定材料形成薄膜，使之具有光學、電學等方面的特殊性能，按工藝原理可分為物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）設備，按設備形態(tài)可分為批量式（管式）和空間型（板式）兩種技術(shù)路線。
微導納米現(xiàn)有產(chǎn)品主要以批量式（管式）ALD設備為主，是國內(nèi)少數(shù)能在短期內(nèi)快速反饋并協(xié)助客戶解決產(chǎn)線上ALD技術(shù)問題的設備廠商之一。目前，半導體薄膜沉積設備中，PVD、CVD設備均已初步實現(xiàn)國產(chǎn)化，而ALD設備作為先進制程所必須的工藝設備，在大規(guī)模量產(chǎn)方面國內(nèi)廠商尚未形成突破。
根據(jù)Gartner統(tǒng)計，2019年全球半導體薄膜沉積設備中，PECVD、PVD、ALD設備的市場規(guī)模占比分別為33%、23%、11%；2020年全球半導體薄膜沉積設備中PECVD、PVD、ALD設備的市場規(guī)模占比分別為34%、21%、12.8%。
薄膜沉積設備的不斷創(chuàng)新和進步，支撐制造工藝向更小制程發(fā)展，所需的薄膜層數(shù)越來越多。在90nm CMOS工藝大約需要40道薄膜沉積工序。在3nm FinFET工藝則超過100道薄膜沉積工序，涉及的薄膜材料由6種增加到近20種，對于薄膜顆粒的要求也由微米級提高到納米級。
半導體制程進入28nm后，由于器件結(jié)構(gòu)不斷縮小且更為3D立體化，生產(chǎn)過程中需要實現(xiàn)厚度更薄的膜層，以及在更為立體的器件表面均勻鍍膜。
ALD技術(shù)憑借優(yōu)異的三維共形性、大面積成膜的均勻性、精確的膜厚控制等特點，技術(shù)優(yōu)勢愈加明顯，市占率也將持續(xù)提高。當技術(shù)節(jié)點向14nm甚至更小的方向升級時，與PVD設備和CVD設備相比，ALD設備的必要性更加凸顯。在國產(chǎn)化進程加快的背景下，國產(chǎn)半導體ALD設備迎來前所未有的發(fā)展契機。
02.已實現(xiàn)在28nm制造關(guān)鍵工藝中的突破
我國半導體設備經(jīng)過最近幾年快速發(fā)展，但在核心設備化上的國產(chǎn)化率仍然較低。
半導體薄膜沉積設備行業(yè)基本由應用材料、先晶半導體（ASM）、泛林集團、東京電子等國際巨頭壟斷。
半導體薄膜沉積設備的國產(chǎn)化率雖然由2016年的5%提升至2020年的8%，但總體占比尤其是中高端產(chǎn)品占比較低。國內(nèi)企業(yè)中，主營業(yè)務涵蓋半導體薄膜沉積設備的主要有北方華創(chuàng)、拓荊科技、中微公司三家。
北方華創(chuàng)、拓荊科技分別主要經(jīng)營PVD產(chǎn)品、PECVD產(chǎn)品，兩家公司ALD設備曾實現(xiàn)銷售，部分客戶仍處于工藝驗證階段。中微公司主要為半導體客戶提供刻蝕設備、MOCVD設備，ALD設備為其籌劃開發(fā)產(chǎn)品。微導納米已開發(fā)出適用于光伏、半導體等應用領(lǐng)域的多款薄膜沉積設備，涵蓋ALD、PEALD二合一、PECVD系列產(chǎn)品，并提供配套產(chǎn)品及服務。其產(chǎn)品率先用于光伏電池片生產(chǎn)過程中的薄膜沉積環(huán)節(jié)，隨后微導納米又開發(fā)了對技術(shù)水平和工藝要求更高的半導體薄膜沉積設備。
微導納米首套用于300mm（12英寸）晶圓的High-k柵氧層薄膜沉積的ALD設備已實現(xiàn)銷售，實現(xiàn)國產(chǎn)ALD設備在28nm集成電路制造關(guān)鍵工藝（高介電常數(shù)柵氧層材料沉積環(huán)節(jié)）中的突破。
該公司已與多家國內(nèi)半導體廠商及驗證平臺簽署了保密協(xié)議并開展產(chǎn)品技術(shù)驗證等合作，針對國內(nèi)半導體薄膜沉積各細分應用領(lǐng)域研發(fā)試制新型ALD設備。本次募投項目達產(chǎn)后，微導納米將新增年產(chǎn)120臺光伏、柔性電子領(lǐng)域的ALD設備，以及年產(chǎn)40套半導體領(lǐng)域ALD設備的生產(chǎn)規(guī)模。
03.三年營收近10億元上半年凈利潤轉(zhuǎn)盈為虧
2019年、2020年、2021年、2022年上半年，微導納米的營收分別為2.16億元、3.13億元、4.28億元、1.56億元，凈利潤分別為0.55億元、0.57億元、0.46億元、-0.39億元。
2019-2020年，微導納米專用設備銷售收入占主營業(yè)務收入的比例分別為93.59%、95.74%，均為ALD設備銷售收入。
微導納米的設備改造業(yè)務主要是匹配客戶改造需求開展，2021年設備改造業(yè)務收入增幅較大，導致2021年專用設備銷售收入占比降至70.29%；同時受市場電池技術(shù)過渡期間下游廠商擴產(chǎn)節(jié)奏短期調(diào)整及新品推出的影響，2021年其專用設備收入結(jié)構(gòu)有所變化。
近年來，光伏電池片呈大尺寸化發(fā)展趨勢。2019年光伏電池片市場以156mm尺寸為主；2020年156mm尺寸占比大幅下降，158mm和166mm尺寸合計比例達到77.8%。當時其客戶產(chǎn)線設備大多為適配158mm或以下電池片生產(chǎn)，因此設備改造需求增加。2021年、2022年1-6月，其新增PECVD設備與PEALD二合一設備銷售收入、ALD設備銷售收入占專用設備銷售收入的比例分別為53.70%、44.18%。
2020-2021年，微導納米ALD設備訂單數(shù)量短期減少主要是受到市場電池技術(shù)路線過渡階段的暫時性影響。
截至2022年9月末，微導納米在手訂單合計19.75億元，其中專用設備在手訂單合計18.56億元，設備改造業(yè)務在手訂單合計1.15億元。微導納米2022年營收預計為5.91億元~6.78億元，同比增長38.11%~58.44%；歸母凈利潤預計為2300萬元~4200萬元，同比下降50.12%~8.92%。這主要系公司設備產(chǎn)品驗收周期長，導致收入確認與因訂單增加而相應增加的管理、銷售費用周期不一致，以及持續(xù)加大研發(fā)投入導致研發(fā)費用增加所致。2019年、2020年、2021年、2022年上半年，微導納米的研發(fā)投入占營收比例分別為14.41%、17.19%、22.68%、39.74%。
截至2022年6月30日，微導納米擁有206名研發(fā)人員，占總?cè)藬?shù)的25.50%，共有97項專利。其研發(fā)費用占比和研發(fā)人員占比高于同行業(yè)上市公司平均水平。
其與同行業(yè)可比公司毛利率存在差異，主要系產(chǎn)品及其下游應用領(lǐng)域存在差異。
2021年，微導納米首臺半導體領(lǐng)域設備實現(xiàn)銷售，毛利率為52.20%。故其半導體領(lǐng)域設備的毛利率高于同行業(yè)可比公司平均水平。
04.90后“創(chuàng)二代”掌舵多位60后、80后“輔佐”
截至招股書簽署日，微導納米共有25名股東。
王燕清、倪亞蘭、王磊系微導納米的實際控制人。三人組成的家族通過萬海盈投資、聚海盈管理、德厚盈投資間接控制公司67.34%股份。在這三家持股平臺中，王磊持股均在7~8成。1966年4月，王燕清出生于江蘇無錫的一個桃農(nóng)家庭。1986年，從常州無線電工業(yè)學校模具設計與制造專業(yè)畢業(yè)后，他先是進入錫山無線電二廠，后因收入太低選擇辭職，在2000年創(chuàng)立無錫先導電容器設備廠。當時，他借了8萬塊錢作為啟動資金，租了一間150平方米的破倉庫做工廠，僅雇了兩個60多歲的退休老工人，從三人公司做起。2002年，為了擴大企業(yè)規(guī)模，王燕清設立無錫先導自動化設備有限公司，擔任董事長、總經(jīng)理，該公司后改名為“無錫先導智能裝備股份有限公司”。如今，先導智能已經(jīng)成長為全球新能源裝備第一品牌，去年營收突破100億元，訂單突破200億元。
王燕清的妻子倪亞蘭出生于1970年11月，初中學歷，曾在2002年至2011年11月期間擔任無錫先導自動化設備有限公司總經(jīng)理辦公室助理，后來先后無錫嘉鼎投資有限公司（上海卓遨前身）、欣導投資任職。2015年11月，微導納米的前身微導有限成立，注冊資本2000萬元，王燕清出資1735.4萬元，占股比近87%。2015年12月，倪亞蘭擔任微導有限董事，并從2017年12月開始擔任微導有限總經(jīng)理一直到2019年12月。之后倪亞蘭擔任微導納米董事。王燕清與倪亞蘭的兒子王磊出生于1993年11月，本科學歷，畢業(yè)于新澤西州立大學計算機和數(shù)學專業(yè)。在喜開理（中國）有限公司、恒云太工作歷練后，王磊從2018年10月開始擔任微導有限董事長，從2019年12月至今擔任微導納米董事長。
王燕清為微導納米聘請了多位60后、80后技術(shù)專家及高管，作為兒子日后的左膀右臂。比如4名核心技術(shù)人員中，微導納米副董事長、首席技術(shù)官LI WEI MIN（黎微明）出生于1967年，董事、副總經(jīng)理LI XIANG（李翔）出生于1981年，兩人均曾在ALD設備領(lǐng)軍企業(yè)芬蘭Picosun公司及先導智能任職。微導納米半導體事業(yè)部工藝副總監(jiān)吳興華出生于1980年，曾在中芯國際擔任研發(fā)工程師；光伏事業(yè)部副總經(jīng)理許所昌出生于1985年，曾在中國臺灣工研院、昱晶能源、泰州中來光電就職。在管理層方面，微導納米總經(jīng)理ZHOU REN（周仁）出生于1963年，曾在泛林、中微半導體、科磊（KLA）、拓荊科技等多家中美半導體設備龍頭企業(yè)擔任重要工程職位。微導納米副總經(jīng)理胡彬出生于1983年，財務負責人俞瀟瑩出生于1984年，均曾是先導智能的高層。微導納米董事會秘書龍文出生于1988年，曾在天星資本、翼樸資本擔任投資經(jīng)理。王燕清也給對微導納米核心團隊授予了豐厚的股權(quán)報酬，其董事、監(jiān)事、高級管理人員、核心技術(shù)人員直接持股份情況如下：
通過持有萬海盈投資、聚海盈管理以及德厚盈投資的份額間接持股情況如下：
05.三闖IPO，寧德時代曾毓群、中芯國際參投
以下是微導納米前十大股東持股情況：
寧德時代創(chuàng)始人、董事長曾毓群曾與王燕清旗下的先導智能有業(yè)務往來。曾毓群及其一致行動人李平為寧德時代實際控制人，通過寧德時代控制問鼎投資100%股份；曾毓群還持有瑞華投資100%股權(quán)。本次發(fā)行前，問鼎投資、瑞華投資分別是微導納米的第7大股東、第9大股東，分別持股1.59%、1.33%。
中芯國際旗下中芯聚源紹興基金是微導納米第8大股東，持股1.33%。微導納米第11大股東上海君聯(lián)晟灝為聯(lián)想控股背景，持股1.03%。截至2022年6月30日，微導納米控股股東萬海盈投資持有天芯微67.33%股權(quán)，倪亞蘭擔任天芯微董事長兼總經(jīng)理、王磊擔任天芯微董事。天芯微成立于2019年8月，從事硅外延設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，目前處于研發(fā)、驗證階段。硅外延設備主要用于生長單晶硅片，實現(xiàn)硅片表層向外延伸的目的。天芯微與微導納米產(chǎn)品存在明顯差別，不存在競爭和替代性關(guān)系。
微導納米第3大股東聚海盈管理的普通合伙人為王磊，王磊持有聚海盈管理74.28%的財產(chǎn)份額；第10大股東德厚盈投資的普通合伙人為王燕清，王燕清、王磊分別持有德厚盈投資的21.00%、79.00%的財產(chǎn)份額。聚海盈管理、德厚盈投資為微導納米控股股東、實際控制人的一致行動人。微導納米實際控制人控制的企業(yè)中，主要從事設備制造相關(guān)業(yè)務的有無錫先為、先導智能及其子公司。無錫先為主要研發(fā)外延片生產(chǎn)設備，先導智能及其子公司主要從事智能裝備的研發(fā)設計、生產(chǎn)和銷售，與微導納米均不存在競爭關(guān)系。
這是微導納米第三次沖擊IPO，首次IPO申請是2020年6月，2020年12月終止，第二次IPO于2021年8月終止。公司前次撤回申報的原因是報告期內(nèi)存在委托給關(guān)聯(lián)方先導智能委托經(jīng)營管理的事項。微導納米稱，解除與先導智能的委托經(jīng)營管理合作后，公司已經(jīng)規(guī)范運營滿兩年，不存在對控股股東、實際控制人及其控制的其他企業(yè)的業(yè)務依賴。
06.1臺半導體設備售價2520萬元前五大客戶集中度高
2019年、2020年、2021年、2022年上半年，微導納米專用設備產(chǎn)量分別為50臺、75臺、81臺、42臺，銷量分別為38臺、59臺、59臺、32臺。
因為客戶驗收周期較長，其專用設備當期產(chǎn)量與銷量的匹配存在一定的滯后性，在訂單快速增長的背景下，產(chǎn)量將會高于銷量。其專用設備產(chǎn)品的平均售價及銷量情況如下：
報告期內(nèi)，微導納米已實現(xiàn)銷售收入的主要客戶群體包括晶硅太陽能電池片生產(chǎn)企業(yè)、半導體廠商及驗證平臺等。
微導納米產(chǎn)品對光伏行業(yè)領(lǐng)先的電池片廠商實現(xiàn)了較高的客戶覆蓋率。在半導體領(lǐng)域，微導納米是ALD設備行業(yè)內(nèi)極少數(shù)的新進入者和國產(chǎn)廠商代表之一，先后獲得多家知名半導體公司的商業(yè)訂單。報告期內(nèi)，微導納米對前五名客戶的銷售金額合計分別為1.32億元、2.99億元、3.60億元、1.44億元，占主營業(yè)務收入的比例分別為61.28%、95.66%、84.18%、92.97%。2022年1-6月，其向前五名客戶銷售情況如下：
報告期內(nèi)，微導納米、微導納米董事、監(jiān)事、高級管理人員或持有公司5%以上股份的股東與前五名客戶之間不存在關(guān)聯(lián)關(guān)系。報告期內(nèi)，微導納米進口的核心元器件采購金額分別為0.28億元、0.19億元、0.46億元、0.34億元，占采購總額的比例分別為21.18%、7.87%、15.80%、12.45%。2022年1-6月，其前五名供應商情況如下：
截至2022年6月末，微導納米采購的外腔體、加熱爐體、石英管、石墨舟、爐管均為國產(chǎn)產(chǎn)品，氣路支板裝配體、源瓶、等離子體電源等原材料采購已基本實現(xiàn)國產(chǎn)化，臭氧發(fā)生器、氣動閥件、真空壓力計等需全部或部分從國外進口。2022年6月末，微導納米流動資產(chǎn)為16.16億元，其中貨幣資金為2.63億元，流動負債為8.61億元，營運資本為7.54億元，公司所有者權(quán)益合計8.45億元。
07.結(jié)語：國產(chǎn)半導體設備商迎來關(guān)鍵發(fā)展機遇
全球半導體設備市場集中度較高，前十大半導體設備制造商主要集中在美國、日本和荷蘭。根據(jù)VLSI Research數(shù)據(jù)，2020年全球半導體設備前十名廠商合計實現(xiàn)銷售收入708億美元，市占率為76.63%。中國半導體設備廠商因發(fā)展起步較晚，目前尚未進入全球行業(yè)前列。雖然微導納米為少數(shù)進入半導體領(lǐng)域的ALD國產(chǎn)廠商，但目前占半導體設備整體市場份額的比例較低。2020年、2021年，中國大陸市場約占全球半導體設備市場比例分別為26.30%、28.87%。
中國大陸已成為全球第一大半導體設備需求市場。據(jù)SEMI統(tǒng)計數(shù)據(jù)，2013-2021年半導體設備在大陸銷售額的年復合增長率達到31.07%。2021年，中國大陸半導體設備的銷售額達到296.2億美元，同比增長58.23%，發(fā)展勢頭強勁?！吨袊圃?025》對于半導體設備國產(chǎn)化提出明確要求：在2020年前，90-32nm工藝設備國產(chǎn)化率達到50%，實現(xiàn)90nm光刻機國產(chǎn)化，封測關(guān)鍵設備國產(chǎn)化率達到50%。在2025年前，20-14nm工藝設備國產(chǎn)化率達到30%，實現(xiàn)浸沒式光刻機國產(chǎn)化。
伴隨著國家鼓勵類產(chǎn)業(yè)政策和產(chǎn)業(yè)投資基金不斷的落實與實施，國內(nèi)新建、擴建生產(chǎn)線以及國產(chǎn)化替代的需求快速增長，以及國產(chǎn)半導體設備產(chǎn)品的技術(shù)性能不斷提升，集成電路制造的設備端國產(chǎn)替代趨勢明顯，本土半導體及其設備制造業(yè)迎來了前所未有的發(fā)展契機。而薄膜沉積設備作為半導體制造的核心設備，將會迎來巨大的進口替代市場空間。
