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光掩膜板

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  • 光刻掩膜版用什么藥液來(lái)洗？
    學(xué)員問(wèn)：光罩臟了，該如何清洗，洗的頻率如何？用了什么原理？掩膜版（光罩）為什么會(huì)臟？以投影式光刻機(jī)與接觸式光刻機(jī)為例，關(guān)于投影式與接觸式光刻機(jī)見之前的文章：《什么是接觸式/接近式/投影式/步進(jìn)式光刻機(jī)？》

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