激光剝離(LLO)技術在推動微電子領域的諸多市場發(fā)展中起著關鍵作用,包括發(fā)光二極管(LED)、高密度封裝的半導體設備以及柔性顯示器等。其中一個典型應用是在薄膜晶體管(TFT)結構的制造中,這些結構是通過將聚合物層旋涂在玻璃載體上構建的。為了制造輕質且堅固的柔性顯示器,這些結構需要通過LLO技術從剛性基板上分離出來。由于相鄰功能薄膜的熱敏性,低熱預算工藝是必不可少的,以防止熱損傷。準分子激光器憑借其短波長的紫外光和超短脈沖持續(xù)時間,能夠實現(xiàn)高度局部化的能量傳遞。此外,準分子激光器的高功率輸出還支持更大面積的處理區(qū)域,并確保實現(xiàn)大規(guī)模制造所需的高吞吐量,使LLO技術在工業(yè)規(guī)模應用中極具效率。