本項(xiàng)目專注于晶圓光刻過程的仿真,采用先進(jìn)的機(jī)器人技術(shù)和自動(dòng)化手段,提高精度、一致性和效率。該系統(tǒng)包括一個(gè)帶有抓手的機(jī)械臂以及四個(gè)關(guān)鍵設(shè)備:加熱板、旋涂機(jī)、晶圓清洗機(jī)和無掩模直接寫入對準(zhǔn)儀(MLA150),這些設(shè)備都集成在一個(gè)中央工作區(qū)周圍。我們使用西門子Tecnomatix Process Simulate提供的詳細(xì)3D仿真環(huán)境來建模和優(yōu)化制造過程。仿真涵蓋了17個(gè)相互連接的步驟,每個(gè)步驟都由可編程邏輯控制器(PLC)控制,確保操作無縫進(jìn)行并保持高生產(chǎn)質(zhì)量。該方法旨在減少人力資源,降低生產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn),并確保在制造約瑟夫森參量放大器(JPA)時(shí)達(dá)到最高質(zhì)量和可靠性標(biāo)準(zhǔn)。該項(xiàng)目強(qiáng)調(diào)了數(shù)字化制造解決方案在現(xiàn)代光刻中的潛力,為未來的應(yīng)用提供了一個(gè)可擴(kuò)展且高效的模型。