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SAW濾波器這么火,到底什么是SAW?

2022/02/08
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大家好,我是小木匠,今天學點什么呢

《聲波和電磁波到底有什么區(qū)別?》,我們在文章中簡單介紹了聲波的原理,頻率,波長以及波速。同時引出了聲表面波濾波器SAW的工作原理。我們簡單再回顧一下:電信號傳輸換能器IDT上,通過壓電陶瓷的壓電效應轉換成聲波信號,然后對聲波進行處理,之后通過IDT把聲波信號再轉換為電信號進行下一步的傳輸。

具體的工作過程如下圖所示。

 

那么今天我們再詳細了解一下到底什么是聲表面波SAW?

提到SAW,可能很多人會和SIW混淆。但是這個SAW的含義和SIW是完全不同的。SAW來源于Surface Acoustic Wave的首字母縮寫,這里就是表面聲波,也就是這種聲波是沿著物體表面?zhèn)鞑サ?,這個和BAW剛好是一對,BAW:體聲波,我們在之后的文章中再慢慢講述。那么SIW是什么呢?我們在介紹傳輸線基礎知識的時候講到過:《基片集成波導SIW 簡介》,SIW就是基片集成波導:Substrate Intergrated Waveguide,我們以后可能也會講到,這個在毫米波可能會有大的應用。

跑題啦,接著講SAW。聲表面波的發(fā)現(xiàn)要晚于電磁波,1885年,英國物理學家Rayleigh在研究地震波是發(fā)現(xiàn)了一種能量集中在地表傳播的聲波,最開始命名為瑞利波。哈哈,以發(fā)現(xiàn)者的名字命名是對發(fā)現(xiàn)者最大的致敬。這種波的能量集中在物體表面,波速是電磁波的十萬分之一,傳播衰減很小。

但是當時受到科學技術發(fā)展水平的限制,并沒有得到廣泛的應用。直到1965年,R.M.White 和 F.M.Voltmov利用沉積在石英晶體上的叉指換能器(Interdigital Transducer ,IDT)可以有效地激勵 和檢測 SAW,同時又由于可以用制造半導體光刻技術進行大批量生產(chǎn)質量很好的叉指換能器,使聲表面波得到了廣泛的應用,聲表面波技術從此之后也得到了快速的發(fā)展,各種聲表面波器件先后被設計和制造出來。這項研究成果被發(fā)表在《一種新型聲表面波聲——電轉化器》。這項研究成果使得聲學和電子學相互結合起來,發(fā)展成一門比較新的交叉科學。

這也就決定了這項學科的難度,懂聲學的不一定懂電磁學,而電磁學的專家不一定懂聲學,中間還有個壓電效應。印象中寫過關于壓電效應的文章,找不到啦。后面再學習。下圖給了一個簡單的壓電效應示意圖。

 

聲表面波,嚴格來說就是沿著固體表面或者界面?zhèn)鞑サ母鞣N模式的波,是一種彈性波,也是一種機械波,具有機械波的所有特征。在理想狀況下,在半無線基片表面存在的波型有:瑞利波(Rayleigh waves)、漏波(Leaky SAW)、廣義瑞利波(Generalized Rayleigh waves)、水平剪切波(SH.SAW)、電聲波(B.G waves)、蘭姆波(Lamb waves)等。在層狀結構的基片存在有樂甫波(Love waves)、西沙瓦波(Sezawa waves)、斯東萊波(Stoneley waves)等。地震波也是一種聲表面波。

 

聲表面波器件具有重量輕,體積小, 可靠性高,一致性好,設計靈活以及可以采用微電子加工技術制造,適合批量生產(chǎn)等優(yōu)點,已被應用于移動通訊、廣播電視、無損檢測、識別定位、導航和遙測等眾多領 域。現(xiàn)在 SAW 器件的工作頻率已經(jīng)覆蓋 10MHz~5GHz,是現(xiàn)代信息化產(chǎn)業(yè)不 可或缺的關鍵元器件。

可能很多朋友會問,聲表面波器件體積是怎么小的?我們知道微波器件的大小和波長有關,對于很多無源器件來說,很多設計直接就和波長相關:1/4波長諧振器等. 電磁波的波長是光速和頻率的比值,當然還有相對介電常數(shù)er,這個相對介電常數(shù)對波長的縮小在介質波導濾波器上得到了廣泛驗證。但是聲波的波長相對于電磁波來說要短的多的多,這是為什么呢?因為聲波在特定晶體中的傳播速度是固定的,比如上文中石英玻璃中的那個傳播數(shù)值:5370m/s,聲波的波長等于波速除以頻率,比如頻率是1G時,這個波長就很小了,所以聲波器件能做的很小。但是太小的波長,又要求有較高的工藝精度,就類似于毫米波器件一樣。這可能也限制了SAW器件的頻率應用范圍。不過不要緊,有SAW就有BAW,還有FBAR,更有XBAR,我們慢慢一件一件吃透它。

參考文獻:

1,百度百科: 聲表面波

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