晶盛機(jī)電：首臺(tái)12英寸硬軸直拉爐成功生長(zhǎng)出12英寸硅單晶

7月20日，晶盛機(jī)電晶體實(shí)驗(yàn)室自主研發(fā)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)12英寸硬軸直拉硅單晶爐成功生長(zhǎng)出首顆12英寸硅單晶。

圖片來(lái)源：晶盛機(jī)電

?

據(jù)晶盛機(jī)電官方消息，這是繼2020年8月國(guó)內(nèi)首臺(tái)8英寸硬軸直拉爐生長(zhǎng)出8英寸硅單晶之后，又一次在半導(dǎo)體級(jí)硅單晶生長(zhǎng)裝備上取得的重要技術(shù)進(jìn)展。

晶盛機(jī)電依托兩項(xiàng)國(guó)家科技重大02專(zhuān)項(xiàng)課題（“300mm硅單晶直拉生長(zhǎng)裝備的開(kāi)發(fā)”和“8英寸區(qū)熔硅單晶爐國(guó)產(chǎn)設(shè)備研制”），15年專(zhuān)注于半導(dǎo)體硅單晶生長(zhǎng)裝備研發(fā)，相繼開(kāi)發(fā)出定拉速控徑、液位控制、定放肩、超導(dǎo)磁場(chǎng)拉晶等多項(xiàng)國(guó)際領(lǐng)先技術(shù)。