俄羅斯仍有5臺ASML光刻機可用！

自俄烏沖突爆發(fā)之后，俄羅斯被眾多國家和地區(qū)制裁，導(dǎo)致各種半導(dǎo)體芯片及設(shè)備的進口都受到了限制。這也迫使俄羅斯加大了對于自研、本土制造芯片的投入，但依然會面臨設(shè)備、材料等很多方面的瓶頸。不過，據(jù)外媒《The Insider》報導(dǎo)，俄羅斯目前仍然可以通過一些途徑從中國臺灣進口硅晶圓（半導(dǎo)體硅片）等產(chǎn)品，這些是制造芯片所必須的原材料。

基于軍事需求而建立的芯片制造能力

自2022年2月俄烏沖突爆發(fā)后，美國、歐盟、日本、新加坡、韓國、中國臺灣等地就相繼出臺了針對俄羅斯的半導(dǎo)體的出口管制，希望通過阻斷半導(dǎo)體供應(yīng)，以降低俄羅斯的軍事戰(zhàn)力。雖然俄羅斯本土缺乏生產(chǎn)高性能、商業(yè)上可行的微芯片的現(xiàn)代技術(shù)，但這并不意味著當(dāng)?shù)刂圃焐滩恢廊绾紊a(chǎn)半導(dǎo)體芯體。老式的芯片生產(chǎn)技術(shù)早在蘇聯(lián)時代就已經(jīng)開發(fā)出來了。

例如，據(jù)光刻專業(yè)人士Denis Shamiryan介紹，俄羅斯公司Mikron已經(jīng)掌握了大規(guī)模生產(chǎn)中的180nm技術(shù)和單件生產(chǎn)中的90nm技術(shù)。對于90nm工藝，Mikron使用意法半導(dǎo)體光刻設(shè)備。Mikron的民用產(chǎn)品僅限于銀行卡和護照芯片，其年產(chǎn)量達到40億個微芯片。

正如Shamiryan回憶的那樣，俄羅斯還計劃在莫斯科地區(qū)澤列諾格勒的Angstrem-T生產(chǎn)芯片，使用130nm和90nm技術(shù)。2000年代末，Angstrem-T從AMD位于德累斯頓的Fab36工廠購買了完整的ASML生產(chǎn)線。然而，這些計劃從未實現(xiàn)，因為Angstrem-T在2019年被宣布破產(chǎn)。然而，另一家名為Angstrem（去掉T）的位于澤倫格勒的實體生產(chǎn)了一系列微芯片。

Shamiryan還指出，俄羅斯Rusnano集團旗下Crocus NanoElectronics工廠曾成功建立65nm制程，主要是為了生產(chǎn)MRAM內(nèi)存，但它自己只能完成生產(chǎn)周期的一半，仍須依賴外國供應(yīng)，但后來因為制裁該工廠被迫停業(yè)

俄羅斯現(xiàn)存的微芯片生產(chǎn)設(shè)施主要服務(wù)于軍事需求。例如俄羅斯芯片制造商Epiel主要在莫斯科附近的澤列諾格勒開展業(yè)務(wù)，并將自己定位為俄羅斯芯片制造外延生長（epi）過程中的領(lǐng)導(dǎo)者。

根據(jù)Epiel最新的公開財務(wù)報表，該公司2020年的收入接近700萬美元。Epiel主要供應(yīng)適直徑為100mm、150mm和200mm的晶圓，雖然目前最先進的現(xiàn)代技術(shù)采用的是300nm晶圓。在該年度，Epiel從俄羅斯工業(yè)和貿(mào)易部獲得了數(shù)十萬美元的政府合同，并向合資公司NZPP Vostok（“新西伯利亞半導(dǎo)體器件廠”）供應(yīng)加工過的晶圓，該公司為終端制造商生產(chǎn)現(xiàn)成的芯片。

根據(jù)最新的公共采購數(shù)據(jù)，NZPP Vostok積極與Rosatom實體K.a.Volodin儀器制造廠（聯(lián)邦國家統(tǒng)一企業(yè)）合作，后者專門生產(chǎn)核武器。而NZPP Vostok的工廠仍在生產(chǎn)64 K bit的存儲芯片，至少直到最近，該工廠還向Rybinsk的Luck Design Bureau等軍事企業(yè)出售價值數(shù)百萬盧布的芯片，這些公司主要開發(fā)包括無人機在內(nèi)的軍事裝備。

Epiel的另一個客戶是沃羅涅日的電子設(shè)備研究所，該研究所為被占領(lǐng)的克里米亞的Fiolent軍事工廠、Sozvezdie Concern（為武裝部隊制造電子戰(zhàn)和通信與控制設(shè)備）以及Rosatom的Volodin儀器制造廠提供產(chǎn)品。

現(xiàn)有記錄還表明，Epiel與前電子廠Pulsar之間存在合作，Pulsar為軍方制造微波設(shè)備、晶體管和微芯片。Epiel還履行了 N.L. Dukhov All-Russian Research Institute of Automation（N.L. 杜霍夫全俄自動化研究所）的合同，該研究所開發(fā)核彈頭。Epiel的地址與據(jù)說屬于Mikron集團的Sitronics Smart Technologies的地址相匹配。此外，Epiel與Mikron和俄羅斯分子電子學(xué)研究所共享辦公場所。因此，可以合理地假設(shè)Epiel屬于同一集團公司。

俄羅斯制造的微芯片在武器中的具體應(yīng)用包括1890VM6Ya處理器及其在戰(zhàn)斗機Baguette飛行控制計算機中的變體。

早在2011年，熱門IT門戶網(wǎng)站Habr上的一篇文章就報道稱，Milandr在180nm技術(shù)設(shè)備上制造的芯片用于俄羅斯戰(zhàn)斗機和防空系統(tǒng)。

俄羅斯國內(nèi)芯片制造的過程似乎如下：首先，Epiel在進口晶圓上進行外延生長。然后，Mikron、NZPP Vostok、Pulsar或電子設(shè)備研究所等公司使用這些半導(dǎo)體產(chǎn)品制造即用型微芯片。據(jù)行業(yè)專家稱，該過程可能包括將晶圓切割成單個芯體，連接引腳并“封裝”它們。

雖然相對于現(xiàn)代芯片來說，這些芯片大多已經(jīng)過時，但俄羅斯武器制造商選擇國產(chǎn)芯片而不是技術(shù)更先進的芯片，一方面是出于安全考慮，另一方面則是由于制程導(dǎo)致的供應(yīng)問題。另外，由于這些芯片主要用于大型重型武器，因此最先進的電子設(shè)備提供的小型化優(yōu)勢基本上無關(guān)緊要。

俄羅斯目前有5臺老式的ASML光刻機

對于俄羅斯來說，自主制造芯片離不開關(guān)鍵的半導(dǎo)體設(shè)備，特別是光刻機。目前全球主要的193nm（“深紫外”）波長的DUV光刻機供應(yīng)商只有ASML、尼康和佳能，而13.5nm的（“極紫外”，接近X射線范圍）波長的EUV光刻機只有ASML可以制造。

ASML發(fā)言人向The Insider證實，ASML公司從未向俄羅斯出售過大量設(shè)備。自2014年以來，只有價值5000萬美元的ASML品牌光刻機進口到俄羅斯。雖然5000萬美元價值看起來不少，但這甚至都買不到一臺EUV光刻機。

ASML聲稱，俄羅斯只從第三國進口了拆除的舊設(shè)備的零件。烏克蘭出版物《真理報》在很大程度上證實了這一評估。據(jù)報道，截至2022年，俄羅斯有五臺波長范圍為365至193納米的ASML光刻機（均為PAS 5000系列）正在運行，分別位于俄羅斯系統(tǒng)分析科學(xué)研究所、Mapper、Zelenograd納米技術(shù)中心和Mikron。

在俄烏戰(zhàn)爭全面爆發(fā)后，臺積電已停止了對俄羅斯芯片的代工。為此，俄羅斯也不得不依靠已有的進口半導(dǎo)體設(shè)備在其國內(nèi)制造自研芯片。雖然目前俄羅斯有五臺ASML設(shè)備正在運作中，但這些設(shè)備非常過時，甚至已有15-20年歷史。

對此，ASML堅稱，不為俄羅斯的光刻設(shè)備提供維修服務(wù)，但是仍有很多相關(guān)零件在制造商無法控制的二級市場上流通。

需要指出的是，除了在制裁前進口的少數(shù)西方光刻機外，俄羅斯制造商還可以從明斯克的Planar工廠獲得光刻機。這些光刻機在350nm的波長下工作，最小特征尺寸為500nm，代表了1995年出現(xiàn)的一種技術(shù)，但到1999年已經(jīng)過時。

半導(dǎo)體原材料供應(yīng)

俄羅斯自己制造芯片還存在另一個問題，那就是其本土缺乏必須的半導(dǎo)體材料供應(yīng)商，比如半導(dǎo)體硅片和光罩等，這些必須依賴于進口。雖然之前遇到了一些阻礙，但目前俄羅斯依然可以通過一些途徑采購到這些產(chǎn)品。

根據(jù)俄羅斯海關(guān)內(nèi)部數(shù)據(jù)，俄羅斯在2023年共進口了價值1.505億美元的半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品（海關(guān)代碼848620），用于生產(chǎn)微芯片和印刷電路板。買家名單包括民用實體（如生產(chǎn)智能卡和芯片的Sitronics Smart Technologies和生產(chǎn)太陽能電池板的Hevel）、各種設(shè)備（包括受制裁商品）的經(jīng)銷商，以及為外圍非核心項目購買少量設(shè)備的組織（如IT公司Craftech）。

雖然俄羅斯最大的硅片進口商是OOO Hevel，該公司在2023年從中國進口了價值近700萬美元的硅片，但這些硅片主要是用于太陽能電池板的。而Epiel則是用于芯片制造的半導(dǎo)體硅片的最大的進口商之一，其在2023年進口了價值為220萬美元半導(dǎo)體硅片。該公司的許多最終用戶都是軍工企業(yè)，從2010年代初到全面入侵烏克蘭，其大多數(shù)供應(yīng)商都是亞洲和美國的實體。

但在俄烏沖突爆發(fā)后，Epiel不得不徹底改變供應(yīng)商基礎(chǔ)，改從東南亞幾家主要出口商采購半導(dǎo)體硅片。從The Insider整理的名單來看，中國臺灣公司Pai Haung Technology也向其出口了不少半導(dǎo)體硅片，而且其只與少數(shù)俄羅斯和白俄羅斯實體有業(yè)務(wù)往來，可直接從中臺灣運送半導(dǎo)體硅片給他們。

自俄烏戰(zhàn)爭爆發(fā)后，Pai Haung以其品牌出售了價值400萬美元的半導(dǎo)體硅片給俄羅斯和白俄羅斯，但該品牌在網(wǎng)上沒有任何知名度。The Insider認為許多海關(guān)文件都將制造商指向另外一家公司，即中國臺灣合晶科技（Wafer Works），因為這家公司在俄烏沖突爆發(fā)前，也是Epiel的供應(yīng)商。

The Insider認為，名不見經(jīng)傳的Pai Haung其實不生產(chǎn)半導(dǎo)體硅片，那他在供應(yīng)鏈的角色僅限于轉(zhuǎn)售中間商的角色。

由美國前財政部官員創(chuàng)立的數(shù)據(jù)公司Kharon發(fā)現(xiàn)，Pai Haung曾被列為美國DMS電子元件集團網(wǎng)站上的附屬實體，但現(xiàn)在看這個信息已經(jīng)從網(wǎng)站消失。

Pai Haung執(zhí)行長Bao Yongjian在接受中國臺灣媒體采訪時表示，公司會嚴格遵守中國臺灣法律，不與受制裁的公司做生意。

目前總部位于俄羅斯?jié)蓚惛窭盏腅piel確實沒有被列入美國及中國臺灣或其他制裁名單，盡管它是俄羅斯軍事工業(yè)最終使用的產(chǎn)品制造過程中不可或缺的一環(huán)。

然而，Pai Haung的另一個客戶AO VZPP Mikron（沃羅涅日半導(dǎo)體設(shè)備股份公司Mikron）正受到制裁。2020年，Mikron獲得了一系列政府合同，開發(fā)高達1200伏的抗輻射齊納二極管，這些二極管更有可能用于軍事而非民用。

Epiel的第四大供應(yīng)商是日本D&X株式會社有限公司的中國分公司。應(yīng)《The Insider》的要求，日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省發(fā)送了一份違禁品清單，其中顯示日本公司不允許向俄羅斯出口硅片（代碼381800）。

Epiel的另一家供應(yīng)商D&X公司尚未對《The Insider》的調(diào)查做出回應(yīng)。而管理部門則表示，它不知道D&X公司向俄羅斯發(fā)貨。

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編輯：芯智訊-浪客劍