晶圓廠中dummy片,測(cè)試片,真片的區(qū)別是什么？

知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049）里的學(xué)員問：看資料有了解到晶圓廠中有dummy wafer，test wafer，真片的叫法，這幾種片子各自有什么作用嗎？

dummy wafer

dummy的英文直譯為“假的，仿真的”，dummy wafer也可以叫做假片。一般是沒有圖形，或只有若干層圖形，主要的應(yīng)用場(chǎng)景：

1，用于半導(dǎo)體設(shè)備的調(diào)試和校準(zhǔn)，確保設(shè)備在正式生產(chǎn)前處于最佳狀態(tài)。

2，在引入新工藝或調(diào)整現(xiàn)有工藝時(shí)，使用dummy片進(jìn)行測(cè)試和優(yōu)化，減少對(duì)量產(chǎn)片造成的風(fēng)險(xiǎn)。

test?wafer

測(cè)試片（工程片）具有完整的工藝流程，包含了各種圖形和結(jié)構(gòu)的晶圓。

主要作用：

1，在新的芯片產(chǎn)品導(dǎo)入過程中，使用測(cè)試片驗(yàn)證和優(yōu)化新產(chǎn)品的制造工藝，最終實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

2，當(dāng)產(chǎn)線上的量產(chǎn)晶圓出現(xiàn)工藝問題時(shí)，做相應(yīng)的DOE試驗(yàn)以改善工藝。

量產(chǎn)晶圓

量產(chǎn)晶圓用于生產(chǎn)需要給客戶出貨的半導(dǎo)體器件等，量產(chǎn)晶圓在生產(chǎn)過程中進(jìn)行嚴(yán)格的質(zhì)量控制，確保產(chǎn)品符合客戶要求能要求。

Dummy片（Dummy Wafer）： Dummy片通常是由類似晶圓的材料制成，但并不具有電路元件。它們主要用作充填或填充工藝上的支撐或協(xié)助，以幫助維持生產(chǎn)設(shè)備的平衡和穩(wěn)定性。

測(cè)試片（Test Wafer）： 測(cè)試片是用于測(cè)試生產(chǎn)過程中設(shè)備性能和產(chǎn)品質(zhì)量的樣品，通常包含一些標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試結(jié)構(gòu)或器件。測(cè)試片用于驗(yàn)證設(shè)備運(yùn)行情況、檢查生產(chǎn)工藝以及確保產(chǎn)品符合規(guī)格要求。

真片（Production Wafer）： 真片是指用于批量生產(chǎn)芯片或其他電子器件的正式晶圓。這些真片上包含著完整的電路設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu)，經(jīng)過加工后成為最終的產(chǎn)品。

為什么要分這幾類晶圓？

主要是從成本與重要性考慮。成本/重要性：量產(chǎn)晶圓>test wafer>dummy wafer.量產(chǎn)晶圓是要出貨給客戶，是整個(gè)公司的經(jīng)濟(jì)命脈，因此要保證量產(chǎn)晶圓高質(zhì)高量地完成生產(chǎn)任務(wù)。工藝參數(shù)，工藝流程相對(duì)比較固定。任何改動(dòng)都要確保100%的安全性。因此衍生出了一些成本較低，靈活性較強(qiáng)的dummy wafer，ENG wafer以避免對(duì)量產(chǎn)晶圓的浪費(fèi)！

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