3D DRAM進(jìn)入量產(chǎn)倒計(jì)時(shí)

作者：暢秋

在AI服務(wù)器中，內(nèi)存帶寬問(wèn)題越來(lái)越凸出，已經(jīng)明顯阻礙了系統(tǒng)計(jì)算效率的提升。眼下，HBM內(nèi)存很火，它相對(duì)于傳統(tǒng)DRAM，數(shù)據(jù)傳輸速度有了明顯提升，但是，隨著AI應(yīng)用需求的發(fā)展，HBM的帶寬也有限制，而理論上的存算一體可以徹底解決“存儲(chǔ)墻”問(wèn)題，但該技術(shù)產(chǎn)品的成熟和量產(chǎn)還遙遙無(wú)期。在這樣的情況下，3D DRAM成為了一個(gè)HBM之后的不錯(cuò)選擇。

目前，各大內(nèi)存芯片廠商，以及全球知名半導(dǎo)體科研機(jī)構(gòu)都在進(jìn)行3D DRAM的研發(fā)工作，并且取得了不錯(cuò)的進(jìn)展，距離成熟產(chǎn)品量產(chǎn)不遠(yuǎn)了。

據(jù)首爾半導(dǎo)體行業(yè)消息人士透露，3月，三星電子在加利福尼亞州圣何塞舉行的全球芯片制造商峰會(huì)Memcon 2024上公布了其3D DRAM開(kāi)發(fā)路線圖。

4月初，從三星電子傳來(lái)消息，該公司計(jì)劃在2025年推出基于其垂直通道晶體管技術(shù)的早期版本的3D DRAM，該技術(shù)在構(gòu)成單元的晶體管中垂直設(shè)置一個(gè)通道，并用一個(gè)柵極包裹住它作為開(kāi)關(guān)。該公司還計(jì)劃在 2030 年推出更新版本的堆疊式 DRAM，該DRAM可以堆疊包括電容器在內(nèi)的所有單元。

?01、3D DRAM的優(yōu)勢(shì)何在？

AI應(yīng)用對(duì)內(nèi)存性能（速度和存儲(chǔ)密度等）的要求不斷提升。然而，在大幅度增長(zhǎng)的數(shù)據(jù)量，以及處理器快速提升的算力面前，傳統(tǒng)的平面架構(gòu)（2D）DRAM在存儲(chǔ)密度和速度方面越來(lái)越吃力，與此同時(shí)，目前的DRAM制程工藝已經(jīng)接近極限（最先進(jìn)的DRAM制程約為12nm），進(jìn)一步提升越來(lái)越難，這是由DRAM的結(jié)構(gòu)導(dǎo)致的，它的基本存儲(chǔ)單元是基于一個(gè)晶體管和一個(gè)電容器，目前的DRAM制程工藝擴(kuò)展是在一個(gè)平面上進(jìn)行的，工藝提升主要面臨兩個(gè)挑戰(zhàn)：一、電容器的縮放；二、電容到數(shù)字線的電荷共享，要考慮用多少時(shí)間將電荷轉(zhuǎn)移到數(shù)字線上、數(shù)字線有多長(zhǎng)。存儲(chǔ)電容的深寬比會(huì)隨著制程工藝微縮而呈倍數(shù)增加，這就是平面DRAM工藝微縮越來(lái)越難的原因。

也就是說(shuō)，傳統(tǒng)DRAM架構(gòu)是平面型的，而在一個(gè)平面內(nèi)加入更多存儲(chǔ)單元越來(lái)越困難。因此，類似于3D NAND，人們開(kāi)始考慮將立體的3D架構(gòu)帶入DRAM。3D DRAM將存儲(chǔ)單元堆疊在邏輯單元上方，以實(shí)現(xiàn)在單位面積上產(chǎn)出更多存儲(chǔ)容量，3D DRAM可以有效解決平面DRAM存儲(chǔ)電容高深寬比這一難題。此外，使用3D堆疊技術(shù)還能重復(fù)使用存儲(chǔ)電容，從而降低DRAM的單位成本。

由于3D DRAM中的晶體管堆疊為多層結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)可以擴(kuò)大晶體管之間的間隙，從而減少電流泄漏。

總之，3D DRAM芯片是垂直堆疊存儲(chǔ)單元，而不是像傳統(tǒng)DRAM那樣水平放置所有單元，它將單位面積的容量增加了3倍（3D DRAM的基本容量為100GB，而當(dāng)前DRAM的最大容量為36GB）。

就發(fā)展路線來(lái)看，據(jù)semiengineering報(bào)道，3D DRAM有兩條路，其中，最直接的方法是保留當(dāng)前的DRAM 技術(shù)，并將多個(gè)芯片堆疊在彼此之上。這是用于HBM的高級(jí)封裝方法，常見(jiàn)的HBM芯片為4和8高，預(yù)計(jì)很快會(huì)達(dá)到16高。與傳統(tǒng)DRAM相比，這是一種更昂貴的方案，因?yàn)樵诜庋b中堆疊die需要更先進(jìn)的工藝，但對(duì)于需要大量高帶寬內(nèi)存的應(yīng)用（如AI）來(lái)說(shuō)，這是值得的。

另外一條路，也是多數(shù)廠商追求的最終目標(biāo)，那就是單片堆疊。這種方案只需少量額外步驟，但是，這些步驟會(huì)導(dǎo)致很多困難。為了實(shí)現(xiàn)這個(gè)目標(biāo)，有分析人士認(rèn)為3D DRAM 可以效仿3D NAND Flash，將存儲(chǔ)單元翻轉(zhuǎn)。因?yàn)镈RAM 單元具有較小的2D區(qū)域，但具有較大的垂直方向電容器，使其很高且難以分層堆疊。而且，隨著 2D 尺寸越來(lái)越小，電容器越來(lái)越薄，它必須加長(zhǎng)以保持足夠的電荷。

這就延申出了另外一個(gè)問(wèn)題，那就是電容器問(wèn)題。

在傳統(tǒng)DRAM的制造過(guò)程中，幾乎都是采用電路和存儲(chǔ)器堆疊在同一平面的方法來(lái)生產(chǎn)的，芯片制造商通過(guò)減小單元尺寸或間距來(lái)提高 DRAM 的性能。然而，他們達(dá)到了在有限空間內(nèi)增加存儲(chǔ)單元數(shù)量的物理極限，這里有一個(gè)問(wèn)題，如果電容器變得越來(lái)越薄，整個(gè)器件可能會(huì)崩潰。如果無(wú)法解決電容器問(wèn)題，DRAM的存儲(chǔ)密度和數(shù)據(jù)傳輸帶寬就難以實(shí)現(xiàn)跨越式提升。因此，業(yè)界提出了無(wú)電容DRAM方案，再加上3D堆疊技術(shù)，有望實(shí)現(xiàn)3D DRAM的突破。

所謂無(wú)電容DRAM，就是在其存儲(chǔ)單元中，僅用一個(gè)晶體管來(lái)存儲(chǔ)信息，且使用具有不對(duì)稱雙柵極結(jié)構(gòu)的多晶金屬氧化物硅半導(dǎo)體FET，通過(guò)floating body效應(yīng)來(lái)存儲(chǔ)電荷（不需要外部電容器）。

目前，全球多家知名半導(dǎo)體科研機(jī)構(gòu)都在進(jìn)行無(wú)電容3D DRAM 的研究工作，具體技術(shù)包括Dynamic Flash Memory、VLT、Z-RAM和IGZO-FET等。不過(guò)，從目前的發(fā)展情況來(lái)看，包括存儲(chǔ)芯片三巨頭（三星電子、SK海力士和美光）在內(nèi)的廠商還沒(méi)有披露更多關(guān)于無(wú)電容3D DRAM的細(xì)節(jié)。

?02、各大廠商的研發(fā)進(jìn)展

傳統(tǒng)DRAM需要復(fù)雜的讀寫(xiě)數(shù)據(jù)操作流程，而3D DRAM可以通過(guò)垂直堆疊的存儲(chǔ)單元直接存取和寫(xiě)入數(shù)據(jù)，顯著提高了存取速度。3D DRAM的優(yōu)勢(shì)不僅包括高容量和快速數(shù)據(jù)訪問(wèn)，還具有低功耗和高可靠性特點(diǎn)，可以滿足各種應(yīng)用需求。

有機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)，到2030年，全球3D DRAM市場(chǎng)規(guī)模有望增長(zhǎng)到1000億美元。

正是看到了這樣的發(fā)展前景，以存儲(chǔ)芯片三巨頭為代表的廠商都在發(fā)力，進(jìn)行相關(guān)技術(shù)和產(chǎn)品的研發(fā)。

如前文所述，三星電子計(jì)劃在2025年推出3D DRAM的量產(chǎn)產(chǎn)品。在三巨頭中，三星是對(duì)該技術(shù)最為關(guān)注的，投入也最大，3D DRAM可以幫助三星在未來(lái)的AI芯片市場(chǎng)占據(jù)優(yōu)勢(shì)地位。而就目前來(lái)看，在AI內(nèi)存市場(chǎng)，特別是HBM產(chǎn)品，SK海力士占據(jù)著主導(dǎo)地位，占有全球90%的HBM市場(chǎng)份額。三星要想趕超SK海力士，在HBM階段恐怕是難以實(shí)現(xiàn)了，只能寄希望于3D DRAM或其它更先進(jìn)的技術(shù)方案。

盡管存儲(chǔ)三巨頭都在研究這項(xiàng)技術(shù)，但SK海力士和美光科技尚未公布任何3D DRAM發(fā)展路線圖。

下面分別看一下這三大存儲(chǔ)芯片廠商在3D DRAM方面的研發(fā)和進(jìn)展情況。

三星電子想主導(dǎo)3D DRAM市場(chǎng)，一直在開(kāi)發(fā)新技術(shù)。

自2019年以來(lái)，三星電子一直在進(jìn)行3D DRAM的研究，并于同年10月宣布了業(yè)界首個(gè)12層3D-TSV（Through-Silicon Via）技術(shù)。

2021年，三星電子正式對(duì)外宣布其3D DRAM開(kāi)發(fā)項(xiàng)目，當(dāng)時(shí)，恰逢該公司在其DS部門(mén)內(nèi)設(shè)立下一代工藝開(kāi)發(fā)團(tuán)隊(duì)，作為一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，3D DRAM包含其中，三星半導(dǎo)體業(yè)務(wù)公司總裁兼首席技術(shù)官宋齋赫（Song Jaihyuk）領(lǐng)導(dǎo)該團(tuán)隊(duì)。

在2022年的SAFE論壇上，三星表示，準(zhǔn)備通過(guò)邏輯堆疊芯片SAINT-D解決DRAM堆疊問(wèn)題，該設(shè)計(jì)旨在將8個(gè)HBM3芯片集成在一起。

據(jù)消息人士稱，2023年5月，三星電子在其半導(dǎo)體研究中心內(nèi)組建了一個(gè)開(kāi)發(fā)團(tuán)隊(duì)，大規(guī)模生產(chǎn)4F2結(jié)構(gòu)DRAM。由于DRAM單元尺寸已達(dá)到極限，三星想將4F2應(yīng)用于10nm級(jí)工藝或更先進(jìn)制程的DRAM。如果三星的4F2 DRAM存儲(chǔ)單元結(jié)構(gòu)研究成功，在不改變制程的情況下，裸片面積可比現(xiàn)有6F2 DRAM存儲(chǔ)單元減少約30%。

2023年10月，在“內(nèi)存技術(shù)日”活動(dòng)上，三星電子宣布計(jì)劃在下一代10nm級(jí)制程DRAM中引入新的3D結(jié)構(gòu)，而不是傳統(tǒng)的2D結(jié)構(gòu)。

2023年，在日本舉行的“VLSI研討會(huì)”上，三星電子發(fā)表了一篇包含3D DRAM研究成果的論文，并展示了3D DRAM芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖像。

據(jù)報(bào)道，三星電子在美國(guó)硅谷開(kāi)設(shè)了一個(gè)新的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，主要進(jìn)行3D DRAM研發(fā)。據(jù)悉，該實(shí)驗(yàn)室隸屬于硅谷的Device Solutions America (DSA)部門(mén)，負(fù)責(zé)監(jiān)督三星電子在美國(guó)的半導(dǎo)體生產(chǎn)，并專注于新一代DRAM產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)。

除了要在2025年量產(chǎn)，三星電子還要在2027~2028年將相關(guān)制程節(jié)點(diǎn)縮小到8nm~9nm，目前，最先進(jìn)的DRAM制程約為12nm。

下面看一下SK海力士和美光。

雖然沒(méi)有明確的發(fā)展路線圖，但SK海力士在一些行業(yè)會(huì)議上介紹過(guò)該公司對(duì)3D DRAM的理解。據(jù)BusinessKorea報(bào)道，負(fù)責(zé)SK海力士未來(lái)技術(shù)研究所的副總裁Cha Seon-yong表示，2024年，SK海力士將會(huì)披露3D DRAM電氣特性的相關(guān)細(xì)節(jié)，到時(shí)候，該公司將會(huì)明確3D DRAM的發(fā)展方向。

據(jù)外媒報(bào)道，SK海力士正在為將來(lái)的DRAM開(kāi)發(fā)IGZO通道材料，它可以改善DRAM的刷新特性。據(jù)悉，IGZO薄膜晶體管憑借其適中的載流子遷移率、極低的漏電流以及基板尺寸的可擴(kuò)展性，在顯示面板行業(yè)長(zhǎng)期得到應(yīng)用。它可以成為未來(lái) DRAM 可堆疊通道材料的候選方案。

美光在2019年就開(kāi)始了3D DRAM的研究工作。據(jù)TechInsights統(tǒng)計(jì)，到2022年8月，美光獲得了30多項(xiàng)3D DRAM專利，三星電子持有的專利數(shù)為15項(xiàng)，SK海力士持有約10項(xiàng)專利，可以看出，美光的3D DRAM相關(guān)專利數(shù)量是這兩家韓國(guó)存儲(chǔ)芯片巨頭的2-3倍。

除了大廠，有些創(chuàng)業(yè)公司也在進(jìn)行3D DRAM開(kāi)發(fā)。例如，美國(guó)公司NEO Semiconductor推出了一種名為3D X-DRAM的技術(shù)，旨在克服DRAM的容量限制。3D X-DRAM的單元陣列結(jié)構(gòu)類似于3D NAND Flash，采用了FBC技術(shù)，它可以通過(guò)添加層掩模形成垂直結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)高良率、低成本和顯著的密度提升。

據(jù)NEO介紹，3D X-DRAM 技術(shù)可以跨230層實(shí)現(xiàn)128Gb的密度，是當(dāng)前DRAM密度的8倍。NEO提出了每10年容量增加8倍的目標(biāo)，計(jì)劃在2030~2035年實(shí)現(xiàn)1Tb的容量，比目前DRAM的容量增加64倍。

由于內(nèi)存與處理器聯(lián)系非常緊密，因此，3D DRAM技術(shù)的研究工作并未局限于存儲(chǔ)芯片廠商，CPU等處理器大廠也很關(guān)注。

由于在Chiplet（小芯片）技術(shù)的商業(yè)化上取得了成功，AMD想在HPC用處理器（CPU和GPU）方面更進(jìn)一步，一種設(shè)想是在不久的將來(lái)在計(jì)算Chiplet上堆疊DRAM。在ISSCC 2023峰會(huì)上，AMD在其演示文稿中詳細(xì)介紹了如何提高數(shù)據(jù)中心能效，其中，對(duì)用于服務(wù)器處理器和HPC加速器的多層堆疊DRAM的介紹十分引人注目，該公司預(yù)測(cè)這將是未來(lái)HPC用內(nèi)存的一個(gè)發(fā)展方向。

近些年，華為在CPU、AI等HPC上投下重注，要想在這方面進(jìn)入產(chǎn)業(yè)前沿，同樣躲不開(kāi)內(nèi)存技術(shù)的改進(jìn)問(wèn)題。在VLSI Symposium 2022上，華為發(fā)表了一篇關(guān)于3D DRAM的論文，詳細(xì)介紹了該公司采用的垂直CAA型IGZO FET技術(shù)，該研究項(xiàng)目可以推動(dòng)IGZO晶體管在高密度DRAM領(lǐng)域的應(yīng)用。

除了企業(yè)（特別是大型存儲(chǔ)芯片和處理器廠商），全球多家知名半導(dǎo)體科研機(jī)構(gòu)，包括中國(guó)知名的科研院所，也都在進(jìn)行3D DRAM的研究工作，就不在此一一贅述了。

?03、結(jié)語(yǔ)

目前，AI正在各行各業(yè)滲透，大到數(shù)據(jù)中心和云計(jì)算服務(wù)器，小到手機(jī)。在可預(yù)見(jiàn)的未來(lái)，沒(méi)有AI能力的設(shè)備將很難在市場(chǎng)上競(jìng)爭(zhēng)。而AI對(duì)處理器和內(nèi)存提出的要求越來(lái)越高，眼下，在手機(jī)等小型計(jì)算系統(tǒng)中，傳統(tǒng)LPDDR還可以滿足應(yīng)用需求，將來(lái)則很有可能被淘汰；而在大型計(jì)算系統(tǒng)當(dāng)中，HBM冉冉升起，但用不了多少年，其存儲(chǔ)密度和數(shù)據(jù)傳輸帶寬也將難以保障應(yīng)用升級(jí)。此時(shí)，3D DRAM是一個(gè)更好的方案。

從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看，汽車行業(yè)也有望使用3D DRAM，因?yàn)?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E6%99%BA%E8%83%BD%E5%8C%96/">智能化的電動(dòng)汽車和自動(dòng)駕駛技術(shù)需要能夠?qū)崟r(shí)處理從道路上收集的大量數(shù)據(jù)，此時(shí)，如果只有處理器性能提升，而DRAM不能滿足要求，不會(huì)有好的效果和駕駛、乘坐體驗(yàn)，必須保證DRAM不存在存儲(chǔ)密度和帶寬短板，才能充分發(fā)揮汽車智能化和自動(dòng)駕駛系統(tǒng)的性能。

因此，在多個(gè)應(yīng)用市場(chǎng)不斷發(fā)展的情況下，3D DRAM擁有廣闊的增長(zhǎng)空間。