荷蘭正式出手！限制DUV光刻機(jī)出口

ASML緊急回應(yīng)：不會(huì)對(duì)2023年或者長(zhǎng)期的財(cái)務(wù)表現(xiàn)產(chǎn)生重大影響。

當(dāng)?shù)貢r(shí)間3月8日，荷蘭宣布正式加入美國(guó)在半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)中國(guó)的限制行列。荷蘭貿(mào)易部長(zhǎng)Liesje Schreinemacher致議會(huì)函中透露，荷蘭計(jì)劃對(duì)半導(dǎo)體技術(shù)出口實(shí)施新的限制，這些限制將在夏季之前實(shí)施。

▲荷蘭貿(mào)易部長(zhǎng)Liesje Schreinemacher致議會(huì)函

在致函中，Schreinemacher沒(méi)有說(shuō)明哪些半導(dǎo)體相關(guān)設(shè)備會(huì)受到影響，但她強(qiáng)調(diào)，這些公司必須申請(qǐng)出口這項(xiàng)技術(shù)的許可證，“限制措施只會(huì)包括可以制造最小、最強(qiáng)大芯片的非常高規(guī)格的系統(tǒng)，包括ASML制造的一些深紫外（DUV）光刻機(jī)?！?/p>

荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML回應(yīng)稱(chēng)，他們還沒(méi)有收到“非常高規(guī)格的系統(tǒng)”的明確定義，此舉不會(huì)對(duì)該公司2023年或者長(zhǎng)期的財(cái)務(wù)表現(xiàn)產(chǎn)生重大影響。不過(guò)，受新規(guī)影響，ASML需要申請(qǐng)出口許可證才能裝運(yùn)其DUV光刻機(jī)。

▲ASML官方回應(yīng)

DUV光刻機(jī)被用于生產(chǎn)28nm及更成熟制程的芯片，理論上最高能制備7nm，主要供應(yīng)商有荷蘭ASML、日本尼康、日本佳能等。從ASML界定的范疇來(lái)看，荷蘭出口限制新規(guī)可能主要涉及能生產(chǎn)先進(jìn)制程芯片的高端DUV光刻機(jī)型號(hào)的采購(gòu)，暫不影響2000i之前的型號(hào)。

▲ASML DUV光刻機(jī)型號(hào)一覽（圖源：ASML）

去年10月，美國(guó)政府對(duì)中國(guó)實(shí)施了芯片制造工具出口限制，但要使這些限制生效，需要擁有相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)的荷蘭、日本供應(yīng)商同意，因此今年1月初開(kāi)始，美國(guó)政府就一直在游說(shuō)荷蘭與日本達(dá)成限制向中國(guó)出口先進(jìn)芯片制造工具的協(xié)議。

這也是荷蘭首次公開(kāi)這一協(xié)議的部分細(xì)節(jié)，據(jù)傳日本最快也將于本周更新其芯片出口政策。

在本周荷蘭和日本經(jīng)美國(guó)強(qiáng)烈游說(shuō)的新出口管制的更多細(xì)節(jié)公布之前，ASML的CEO Peter Wennink將在該公司位于荷蘭維荷芬（Veldhoven）的總部發(fā)表講話(huà)。

擴(kuò)大現(xiàn)有出口管制，將出臺(tái)國(guó)家管制清單

在致函中，Schreinemacher稱(chēng)，荷蘭在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中發(fā)揮著重要作用，鑒于技術(shù)發(fā)展和地緣政治影響，政府有必要擴(kuò)大對(duì)特定半導(dǎo)體制造設(shè)備的現(xiàn)有出口管制。

Schreinemacher稱(chēng)，荷蘭政府已決定采取“盡可能謹(jǐn)慎和準(zhǔn)確的措施……以避免對(duì)產(chǎn)業(yè)鏈造成不必要的破壞，對(duì)于重要的公司來(lái)說(shuō)，了解他們所面臨的問(wèn)題，并有時(shí)間適應(yīng)新規(guī)則”。

荷蘭還將以國(guó)家安全為由，以最快的速度對(duì)相關(guān)技術(shù)進(jìn)行監(jiān)管，因此內(nèi)閣將推出一份國(guó)家管制清單。

除此以外，Schreinemacher還計(jì)劃在Wassenaar Group等論壇上推動(dòng)全球?qū)τ谙冗M(jìn)芯片制造的控制，這一由發(fā)達(dá)國(guó)家組成的團(tuán)體可以制定用于軍事系統(tǒng)設(shè)備的出口限制。

銷(xiāo)售DUV需申請(qǐng)?jiān)S可證業(yè)績(jī)表現(xiàn)暫無(wú)影響

雖然在信件中，Schreinemacher沒(méi)有明確提到中國(guó)和全球最大光刻機(jī)巨頭ASML，但這兩者都會(huì)受到影響。

ASML在全球芯片供應(yīng)鏈中占據(jù)著至關(guān)重要的地位，是唯一一家能夠制造高度精密的極紫外（EUV）光刻機(jī)的公司，而這也正是生產(chǎn)先進(jìn)芯片的關(guān)鍵設(shè)備。

ASML更先進(jìn)的EUV光刻機(jī)已經(jīng)于2019年就禁止向中國(guó)銷(xiāo)售。

如今，受荷蘭即將出臺(tái)的法規(guī)影響，ASML需要申請(qǐng)出口許可證才能裝運(yùn)其DUV光刻機(jī)。ASML回應(yīng)稱(chēng)，不過(guò)此舉不會(huì)對(duì)該公司2023年或者長(zhǎng)期的財(cái)務(wù)表現(xiàn)產(chǎn)生重大影響。

更重要的是，荷蘭政府的新出口管制措施僅適用于“最先進(jìn)”工具，但ASML還未收到有關(guān)“最先進(jìn)”的明確定義。因此，ASML將其解釋為“臨界浸沒(méi)式”（critical immersion），將其定義為T(mén)WINSCAN NXT:2000及后續(xù)的浸沒(méi)式光刻系統(tǒng)。

Wennink說(shuō)，他“比以往任何時(shí)候”都更加嚴(yán)密地防范知識(shí)產(chǎn)權(quán)盜竊風(fēng)險(xiǎn)。因?yàn)?，美?guó)對(duì)中國(guó)采購(gòu)先進(jìn)芯片和半導(dǎo)體設(shè)備施加了越來(lái)越多的限制，這增加了他們?cè)诎踩ぷ鞣矫娴娘L(fēng)險(xiǎn)。

同時(shí)，Wennink還警告各國(guó)政府不要陷入保護(hù)主義，他認(rèn)為芯片行業(yè)使全球社會(huì)取得了巨大進(jìn)步。

結(jié)語(yǔ)：中荷應(yīng)共同維護(hù)供應(yīng)鏈穩(wěn)定

ASML預(yù)計(jì)2023年在中國(guó)的銷(xiāo)售額將保持在22億歐元左右，這也意味著其銷(xiāo)售額已經(jīng)相對(duì)收縮，因?yàn)槠湔w銷(xiāo)售額增長(zhǎng)幅度可能在25%左右。

荷蘭政府的最新公告只透露部分細(xì)節(jié)，但留下了更重要的疑點(diǎn)，那就是ASML是否能夠?yàn)樽?014年以來(lái)向中國(guó)客戶(hù)銷(xiāo)售的價(jià)值超過(guò)80億歐元的DUV光刻機(jī)繼續(xù)提供服務(wù)。

關(guān)于荷蘭將對(duì)華禁供的ASML光刻機(jī)范圍從EUV光刻機(jī)擴(kuò)大到DUV光刻機(jī)的消息，1月30日，中國(guó)外交部長(zhǎng)秦剛曾同荷蘭副首相兼外交大臣胡克斯特拉通電話(huà)，就雙邊關(guān)系等問(wèn)題深入交換意見(jiàn)。

秦剛指出，“開(kāi)放務(wù)實(shí)”是中荷關(guān)系的最大特色，雙方要共同維護(hù)國(guó)際產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈穩(wěn)定，維護(hù)開(kāi)放而非分裂、有序而非混亂的國(guó)際貿(mào)易環(huán)境。胡克斯特拉副首相兼外交大臣表示，荷方愿推動(dòng)兩國(guó)開(kāi)放務(wù)實(shí)的全面合作伙伴關(guān)系不斷發(fā)展，將繼續(xù)以負(fù)責(zé)任方式處理對(duì)華經(jīng)貿(mào)事宜。

編譯 | 程茜

編輯 | Panken