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極紫外輻射(EUV)或高能紫外輻射是波長(zhǎng)在124nm到10nm之間的電磁輻射,對(duì)應(yīng)光子能量為10eV到124eV。自然界中,日冕會(huì)產(chǎn)生EUV。人工EUV可由等離子源和同步輻射源得到。主要用途包括光電子譜,對(duì)日EUV成像望遠(yuǎn)鏡,光微影技術(shù)。 EUV是最易被空氣吸收的譜段,因此其傳輸環(huán)境需高度真空。
極紫外輻射(EUV)或高能紫外輻射是波長(zhǎng)在124nm到10nm之間的電磁輻射,對(duì)應(yīng)光子能量為10eV到124eV。自然界中,日冕會(huì)產(chǎn)生EUV。人工EUV可由等離子源和同步輻射源得到。主要用途包括光電子譜,對(duì)日EUV成像望遠(yuǎn)鏡,光微影技術(shù)。 EUV是最易被空氣吸收的譜段,因此其傳輸環(huán)境需高度真空。收起
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