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雖然表面上看，光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造的工具之一，但它的背后涉及復(fù)雜的多學(xué)科交叉與全球化合作。EUV光刻機(jī)依賴于波長僅為13.5納米的極端紫外線（EUV）光源，而這種光源的產(chǎn)生與控制是最大的技術(shù)挑戰(zhàn)之一。你可以把EUV光源想象成一個非常難以控制的“燈泡”，但這個“燈泡”不僅需要在超高真空環(huán)境下工作，還必須產(chǎn)生極其穩(wěn)定和強(qiáng)大的光束。任何微小的不穩(wěn)定都會影響最終的成像效果。

老虎說芯

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10/18 08:20

光刻機(jī) EUV光刻機(jī)

ASML業(yè)績“暴雷”

ASML營收額的增長勢頭可能將迎來急剎車。荷蘭費(fèi)爾德霍芬時間10月15日，ASML發(fā)布2024年第三季度財報，財報顯示，2024年第三季度，ASML實現(xiàn)凈銷售額74.67億歐元，環(huán)比增長19.6%；凈利潤達(dá)20.77億歐元，環(huán)比增長31.6%，二者均創(chuàng)下自2021年第一季度以來的歷史新高。然而，該季度新增訂單金額僅為26.33億歐元，環(huán)比減少52.7%，不及市場預(yù)期的54億歐元的一半，接近2021年第一季度以來的歷史低值（2023年第三季度新增訂單金額26.02億歐元）。

中國電子報

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10/17 09:50

ASML EUV光刻機(jī)

ASML發(fā)布2024年第三季度財報 | 凈銷售額75億歐元，凈利潤為21億歐元

阿斯麥（ASML）今日發(fā)布2024年第三季度財報。2024年第三季度，ASML實現(xiàn)凈銷售額75億歐元，毛利率為50.8%，凈利潤達(dá)21億歐元。今年第三季度的新增訂單金額為26億歐元2，其中14億歐元為EUV光刻機(jī)訂單。ASML預(yù)計2024年第四季度的凈銷售額在88億至92億歐元之間，毛利率介于49%到50%，2024年全年的凈銷售額約為280億歐元。ASML還預(yù)計，2025年的凈銷售額在300億至

與非網(wǎng)編輯

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10/16 07:16

ASML EUV光刻機(jī)

日本提出EUV光刻新方案：光源功率可降低10倍，成本將大幅降低！

8月7日消息，近日日本沖繩科學(xué)技術(shù)大學(xué)（OIST）的Tsumoru Shintake教授帶領(lǐng)的研究團(tuán)隊提出了一項全新、大幅簡化的面向極紫外（EUV）光刻機(jī)的雙反射鏡系統(tǒng)。相比傳統(tǒng)的至少需要六面反射鏡的配置，新的光學(xué)投影系統(tǒng)僅使用了兩面反射鏡，在確保系統(tǒng)維持較高的光學(xué)性能的同時，能讓EUV光線以超過初始值10%的功率到達(dá)晶圓，相比傳統(tǒng)系統(tǒng)中僅1%的功率來說，提了高到了原來的10倍，可說是一大突破。