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光掩膜板

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  • 光刻掩膜版用什么藥液來洗？
    學(xué)員問：光罩臟了，該如何清洗，洗的頻率如何？用了什么原理？掩膜版（光罩）為什么會臟？以投影式光刻機(jī)與接觸式光刻機(jī)為例，關(guān)于投影式與接觸式光刻機(jī)見之前的文章：《什么是接觸式/接近式/投影式/步進(jìn)式光刻機(jī)？》
  • 產(chǎn)業(yè)丨光掩膜大漲？
    產(chǎn)業(yè)丨光掩膜大漲？
    光掩膜在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，彰顯了其在技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級進(jìn)程中的核心角色。伴隨著半導(dǎo)體技術(shù)的日新月異，對光掩模的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)亦隨之不斷提升，這一趨勢持續(xù)驅(qū)動著光掩模技術(shù)的深入發(fā)展與持續(xù)創(chuàng)新。
  • EUV掩膜版用什么材質(zhì)做的？
    學(xué)員問：聽說EUV的掩膜版是反射式的，但是我們常見的掩膜版都是透射式的，為什么會這樣？EUV掩膜版結(jié)構(gòu)麻煩介紹下。
  • FMM為高世代OLED競爭蓄勢
    FMM為高世代OLED競爭蓄勢
    在OLED大尺寸化浪潮下，上游關(guān)鍵核心材料——FMM（精細(xì)金屬掩模版）也開始為適配8代OLED面板作準(zhǔn)備。日本材料廠商DNP（大日本印刷）、韓國材料廠商Poongwon Precision（豐元精密）先后宣布布局8代FMM。我國金屬掩膜版材料企業(yè)也在默默蓄力。8代FMM真的要來了？
  • ?市場規(guī)模接近全球六成，我國平板顯示掩膜版產(chǎn)業(yè)仍存短板
    ?市場規(guī)模接近全球六成，我國平板顯示掩膜版產(chǎn)業(yè)仍存短板
    掩膜版又稱光罩、光掩膜，是光刻工藝中的關(guān)鍵耗材，從應(yīng)用角度看，主要分為半導(dǎo)體掩膜版和平板顯示掩膜版。隨著全球顯示產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步向中國轉(zhuǎn)移，以及在高世代、高精度市場需求的帶動下，2025年中國平板顯示掩膜版市場規(guī)模全球占比有望超過60%。不過業(yè)內(nèi)人士強(qiáng)調(diào)，盡管我國掩模版行業(yè)發(fā)展速度很快，但還是存在產(chǎn)業(yè)鏈斷層的情況，關(guān)鍵原材料和設(shè)備仍被掣肘。