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Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力于開發(fā)各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統(tǒng)等解決方案，這方面的技術更一直領先全球。該公司宣布推出一款型號為 GEMINI? 5540A 的射頻功率測量儀。這款全新的功率測量儀內(nèi)置一組高度靈活、方便易用而又高度集成的測量電路，可支持高度精確的在線射頻功率測量功能，而且適用于必須配備高精度射頻功率控制功能的方案，例如半導體、通信系統(tǒng)、工業(yè)制品和醫(yī)療設備等產(chǎn)品。Advanced Energy 一直是半導體產(chǎn)品射頻功率解決方案的市場領導者，今后該公司會繼續(xù)努力研發(fā)全新的技術，以改善等離子電源功率控制功能，以及提升先進蝕刻和沉積制程工藝的性能。
GEMINI 5540A 是一款將傳感器和測量儀表合二為一的儀器，不但容易使用，而且還可在 0.2 至 200MHz 之間的頻率范圍以及 3 至 5,000W 的功率范圍內(nèi)執(zhí)行測量功能，其 2-sigma 準確度達 ±0.5% + 0.5 W。這是一款高度集成的測量儀器，用戶只需采用一個測量儀表，便可取代多種不同的測量儀器，最適用于需要準確測量和控制其射頻功率的設備。
Advanced Energy 關鍵傳感和控制產(chǎn)品副總裁 Gerry Blumenstock 表示：「技術要求極為嚴格的半導體制程工藝，例如高深寬比(HAR)等離子蝕刻、高精度控制和射頻系統(tǒng)的腔室匹配等制程工藝，其性能直接受所采用的技術影響。OEM廠商只要采用 Advanced Energy 這項全新的 GEMINI 5540A 測量技術，便可準確校正系統(tǒng)以及實時監(jiān)測其射頻功率，提高先進等離子制程工藝的保真度和一致性?！?/p>
GEMINI 5540A 射頻功率測量儀配備一個較大而又易于閱讀的OLED數(shù)字顯示器，可同時顯示正向和反向功率、電壓駐波比(VSWR)和頻率，而且無需為正向和反向功率測量重新配置，也可自動檢測頻率。這款測量儀可將校正次數(shù)減少至每12個月一次。相較之下，傳統(tǒng)的測量儀器則需要每6個月校正一次。這款射頻功率測量儀以5V輸入電壓、500mA輸入電流進行操作，但要通過標準的USB 2.0 端口連接外置電池或交流電源插座，利用交流電時則要采用已有現(xiàn)貨供應的USB適配器。
這款測量儀除了可直接用來測量之外，也可連接計算機，以便與 Advanced Energy 的 GEMINI Tools 數(shù)據(jù)視覺化軟件搭配一起，執(zhí)行數(shù)據(jù)搜集、存儲和審核功能。
