241
Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力于開發(fā)各種先進的高精度電源轉(zhuǎn)換、測量和控制系統(tǒng)等解決方案，這方面的技術更一直領先全球。該公司宣布推出等離子電源系列的另一款新產(chǎn)品，這款全新的10kW脈沖直流電源不但配備領先業(yè)界的電源和控制功能，而且還預裝了 PowerInsight by Advanced Energy? 這套嵌入式制程工藝優(yōu)化程序。這款 Ascent? SMS AP (先進脈沖) 電源配備已注冊專利的脈沖技術，成功將優(yōu)化的電弧管理和精確的等離子電源控制功能引進到技術要求極為嚴格的薄膜沉積應用之中，其中包括半導體以至太陽能光伏電池生產(chǎn)等方面的應用。
這款10kW Ascent SMS AP 電源的外型小巧，但其安全工作區(qū)(SOA)范圍極為寬廣，例如峰值電壓高達1200V，而頻率則介于0.5至150kHz之間。這款電源的漸進式電弧管理系統(tǒng)共有4個不同的單元，而且可支持全范圍反向電壓操作，是目前業(yè)界極為先進的電源解決方案，所存儲的電弧能量最少，而且所提供的電弧參數(shù)均可自我調(diào)節(jié)，讓有關參數(shù)可以按照制程工藝步伐靈活調(diào)節(jié)。其中輸出的先進脈沖(AP)波形可以支持升壓、反向電壓控制以及先進脈沖整形等功能，以便因應薄膜型態(tài)和要求的薄膜特性實現(xiàn)波形的微調(diào)。
Advanced Energy 等離子電源產(chǎn)品高級市場營銷總監(jiān) Dhaval Dhayatkar 表示：「Advanced Energy 將會繼續(xù)致力于提升脈沖直流電源的性能，確保這系列產(chǎn)品適用于單靶磁控濺射方面的應用，而且還有舊式產(chǎn)品所無的適應能力。這款全新的10kW Ascent SMS AP 電源充分利用 Advanced Energy 的許多尖端技術，其中包括可高度配置的波形、漸進式電弧管理、優(yōu)于同級產(chǎn)品的安全工作區(qū)(SOA)范圍、寬廣的頻率范圍、以及我們公司的 PowerInsight 制程工藝優(yōu)化軟件，讓我們的客戶可將先進半導體制程工藝技術的精準度、可重復性和生產(chǎn)良率提升至最高的水平?！?/p>
這款全新的電源產(chǎn)品是 Advanced Energy 首款預裝了 PowerInsight 制程工藝特性分析應用程序和相關優(yōu)化軟件的電源。這套PowerInsight軟件可搜集、分析和轉(zhuǎn)譯來自關鍵饋電系統(tǒng)的資料，讓用戶可利用這些極為實用的資料優(yōu)化制程工藝，以提升產(chǎn)量和生產(chǎn)良率，以及減少無法預測的制程工藝設備故障停機時間。由于 Advanced Energy 這系列脈沖直流電源內(nèi)置 PowerInsight 軟件，因此可減少出現(xiàn)電弧的次數(shù)，并可提高沉積率，改善薄膜層的形態(tài)和特性。
