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近日，精測電子在接受機構調(diào)研時表示，半導體研發(fā)投入巨大，驗證周期長，公司預計2021年在半導體的部分產(chǎn)品線實現(xiàn)扭虧，但整體半導體業(yè)務實現(xiàn)盈利仍需要更多時間和努力。
據(jù)了解，精測電子的子公司上海精測主要聚焦半導體前道檢測設備領域，致力于半導體前道量測檢測設備的研發(fā)及生產(chǎn)，現(xiàn)已形成了膜厚/OCD量測設備、電子束量測設備、泛半導體設備三大產(chǎn)品系列。上海精測膜厚產(chǎn)品（含獨立式膜厚設備）已取得國內(nèi)一線客戶的批量重復訂單、OCD量測設備已取得訂單并已實現(xiàn)交付，半導體電子束檢測設備eViewTM全自動晶圓缺陷復查設備已正式交付國內(nèi)客戶。其余儲備的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認證以及拓展的過程中。
近日，上海精測出機兩款產(chǎn)品為獨立式光學關鍵尺寸量測設備（OCD）及電子束缺陷復查設備（Review-SEM），客戶為中芯國際。OCD設備除具有全自動光學膜厚測量能力外，還可以進行顯影后檢查 （ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側(cè)壁角度（SWA）、高度/深度等關鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測量，具有高速、準確和非破壞性等特點，是半導體前道檢測的關鍵設備之一；Review-SEM是先進的全自動晶圓在線電子束缺陷復查和分類設備，對光學缺陷檢測設備的結果進行高分 辨率復查、分析和分類。
精測電子稱，目前，中國半導體檢測及量測專用設備行業(yè)仍然被國外龍頭企業(yè)占據(jù)主導地位，市場集中度高，國內(nèi)企業(yè)仍然處于弱勢地位?，F(xiàn)階段，公司的競爭對手主要有科磊半導體[KLAC]、應用材料[AMAT]等。
