集成電路裝備謀出路，沈陽芯源靠的是這兩次機(jī)遇？

人均超一項(xiàng)專利，十余年間迅速成長(zhǎng)為國內(nèi)集成電路（IC）裝備領(lǐng)域的一流企業(yè)。沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司（以下簡(jiǎn)稱沈陽芯源）走出了一條以自主創(chuàng)新為驅(qū)動(dòng)的發(fā)展之路。

2002 年 12 月，中國科學(xué)院沈陽自動(dòng)化研究所（以下簡(jiǎn)稱沈陽自動(dòng)化所）配合沈陽市渾南區(qū)的產(chǎn)業(yè)園區(qū)規(guī)劃，發(fā)起創(chuàng)建了沈陽芯源。成立之初，國內(nèi)的 IC 裝備行業(yè)并不成熟，缺少產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈和客戶，沈陽芯源成為遼沈地區(qū) IC 裝備產(chǎn)業(yè)的先鋒之一。

回憶最初的歷程，沈陽芯源總經(jīng)理宗潤福感慨道：“先鋒往往也意味著風(fēng)險(xiǎn)，但我們只做先鋒，避免風(fēng)險(xiǎn)。是‘獻(xiàn)身、求實(shí)、協(xié)作、創(chuàng)新’的沈陽自動(dòng)化所精神和科研人員敬業(yè)攻關(guān)的韌勁，讓公司挺過最初的艱難，一步步實(shí)現(xiàn)今天的業(yè)績(jī)。”

創(chuàng)新尋找出路

創(chuàng)新是沈陽自動(dòng)化所精神中的重要一環(huán)，而立足自主創(chuàng)新、踏實(shí)做好產(chǎn)品則是沈陽芯源謀求發(fā)展的出路。

宗潤福告訴記者：“沈陽芯源尤為重視創(chuàng)新研發(fā)，將創(chuàng)新的種子播撒在每名員工的心中。”沈陽芯源現(xiàn)有員工 210 人，專利 270 余項(xiàng)，自主研制的主導(dǎo)產(chǎn)品勻膠顯影設(shè)備廣泛應(yīng)用于發(fā)光二極管（LED）、高端封裝等領(lǐng)域，在國內(nèi)占有率均超過了 40%，成為國內(nèi)第一大供應(yīng)商。“這樣的成績(jī)?cè)从趯?duì)科技研發(fā)的投入和自主創(chuàng)新的良好氛圍。”

作為一家從沈陽自動(dòng)化所孵化的企業(yè)，科技創(chuàng)新、攻關(guān)克難是沈陽芯源的原始基因。公司成立初期，IC 裝備行業(yè)一直是國外企業(yè)的天下，昂貴的價(jià)格給國內(nèi)企業(yè)帶來負(fù)擔(dān)。

“沈陽芯源攻克一個(gè)個(gè)技術(shù)難關(guān)，在整機(jī)提升的同時(shí)，專注于核心部件的國產(chǎn)化，降低了產(chǎn)品的造價(jià)與服務(wù)成本。”宗潤福說，“設(shè)備的國產(chǎn)化不僅提高了沈陽芯源的競(jìng)爭(zhēng)力，也降低了客戶的成本，從而提高了客戶乃至行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力，實(shí)際上帶動(dòng)了產(chǎn)業(yè)的加工能力，發(fā)揮了示范性作用。”

如今，我國的 IC 裝備產(chǎn)業(yè)形成北京、上海、沈陽三足鼎立的態(tài)勢(shì)，其中，沈陽的 IC 裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展，就得益于像沈陽芯源這樣自主創(chuàng)新的先鋒企業(yè)。

形成正向循環(huán)

回顧發(fā)展歷程，宗潤福指出，沈陽芯源利用自身優(yōu)勢(shì)，把握住兩次機(jī)遇，成功躋身國內(nèi) IC 裝備領(lǐng)域前列。他說：“由于是沈陽自動(dòng)化所參股控股企業(yè)，沈陽芯源社會(huì)形象好、技術(shù)起點(diǎn)高，與地方政府也有著天然的信任基礎(chǔ)，合作開展順利，這些為公司把握住機(jī)遇奠定了基礎(chǔ)。”

2009 年，LED 市場(chǎng)呈爆發(fā)態(tài)勢(shì)。由于 LED 產(chǎn)品技術(shù)門檻低、投資少，沈陽芯源抓住機(jī)遇切入到這一領(lǐng)域。2010 年至 2011 年，沈陽芯源快速成長(zhǎng)，年銷售額達(dá)到 5000 萬元，由此成為了一家健康發(fā)展的企業(yè)。

除此之外，在沈陽自動(dòng)化所的推動(dòng)下，沈陽芯源參與到國家重大科技專項(xiàng)，使公司步入了新的發(fā)展階段。2008 年，沈陽芯源和幾家中科院參股企業(yè)聯(lián)合申報(bào)國家重大科技專項(xiàng)，并于 2008 年 12 月開始承擔(dān)國家重大科技專項(xiàng)“凸點(diǎn)封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設(shè)備的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”，獲撥經(jīng)費(fèi) 3700 萬元。2012 年 3 月，沈陽芯源申報(bào)的國家重大科技專項(xiàng)“300mm 晶圓勻膠顯影設(shè)備研發(fā)”獲得立項(xiàng)批復(fù)，獲經(jīng)費(fèi)支持 8700 萬元。

“國家重大科技專項(xiàng)的支持，讓公司搶占了這個(gè)朝陽行業(yè)的先機(jī)，更好地投入到科研、實(shí)驗(yàn)室建設(shè)、國際合作等方面。通過成果產(chǎn)業(yè)化，一些包括高端封裝領(lǐng)域在內(nèi)的新產(chǎn)品走向了市場(chǎng)，公司發(fā)展形成了正向循環(huán)。” 宗潤福由衷地感謝沈陽自動(dòng)化所。

善做乘法共贏

2013 年，芯源銷售額突破 1 億元，2014 年達(dá) 1.6 億元，預(yù)計(jì) 2016 年將達(dá) 2 億元。一家規(guī)模不大的公司能有這樣的業(yè)績(jī)，與公司崇尚合作共贏，形成乘法效應(yīng)密不可分。宗潤福表示：“我們不僅要做加法還要做乘法。”

所企互動(dòng)為公司早期的起步立下汗馬功勞。沈陽芯源與沈陽自動(dòng)化所及其持股公司新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司、沈陽中科博微自動(dòng)化技術(shù)有限公司等單位開展廣泛合作，縮短研制周期。在拓展海外市場(chǎng)上，沈陽芯源也發(fā)揮著善于做乘法的精神。在中國臺(tái)灣，沈陽芯源以讓利共贏的精神與代理商合作，打開了市場(chǎng)。

做乘法也體現(xiàn)在“一次開發(fā)，多次應(yīng)用”上，這個(gè)觀點(diǎn)是曾任沈陽自動(dòng)化所所長(zhǎng)的蔣新松院士在 30 年前提出的。沈陽芯源繼承了這一傳統(tǒng)，深耕產(chǎn)品品質(zhì)，規(guī)范化的產(chǎn)品為多次應(yīng)用與業(yè)務(wù)拓展奠定了基礎(chǔ)。

2016 年 9 月，沈陽芯源設(shè)計(jì)生產(chǎn)的第 500 臺(tái)設(shè)備出廠，成為在國內(nèi)新興半導(dǎo)體制造設(shè)備廠家中首個(gè)邁過 500 臺(tái)設(shè)備出廠門檻的企業(yè)，創(chuàng)造了一個(gè)新的發(fā)展里程碑。

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