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位于浙江寧波余姚縣的江豐電子材料股份有限公司，董事長(zhǎng)姚力軍告訴媒體、告訴全球，iPhone 7 核心處理器 A10 芯片采用了江豐電子產(chǎn)品，是中國(guó)電子產(chǎn)品第一次應(yīng)用在 16nm FinFET+技術(shù)大規(guī)模集群。
芯片是未來(lái)智能裝備控制系統(tǒng)的核心， 沒(méi)有姚力軍他們生產(chǎn)的這種靶材，芯片就造不出來(lái)。一個(gè)指甲蓋大小的芯片要密布上萬(wàn)米金屬導(dǎo)線，這些導(dǎo)線比頭發(fā)絲的千分之一還要細(xì)，這對(duì)金屬材料的要求之高可想而知。姚力軍總開(kāi)玩笑說(shuō)自己是揉面做餅的人，只不過(guò)他做的這種金屬餅，最貴的要幾萬(wàn)美金一個(gè)。
芯片到底是從何而來(lái)呢？這個(gè)類似餅狀的金屬材料，叫高純度濺射靶材，它是半導(dǎo)體芯片制造中的關(guān)鍵材料。目前全球只有三個(gè)國(guó)家四家公司掌握這種材料的制造工藝。
這些金屬靶材，最核心的是它的純度。一般的金屬能達(dá)到 99.8 的純度，而制作芯片需要的金屬純度是 99.999。因?yàn)榧兌忍撸讣纵p輕一劃就會(huì)有劃痕，任何細(xì)微的瑕疵都會(huì)導(dǎo)致這一塊價(jià)值上萬(wàn)美元的靶材報(bào)廢。
目前，姚力軍他們生產(chǎn)的高純鈦金屬，已經(jīng)達(dá)到美國(guó)、日本的產(chǎn)品性能，完全滿足了芯片制造所需要的純度，再也不受制于人，打破了日美在這一戰(zhàn)略金屬材料領(lǐng)域的壟斷。
作為全球范圍內(nèi)掌握高純金屬及濺射靶材關(guān)鍵技術(shù)的核心專家之一，11 年前，已經(jīng)在日本工作的姚力軍帶著技術(shù)回到國(guó)內(nèi)。姚力軍回憶道，當(dāng)初向美國(guó)的霍尼韋爾和日本大阪太業(yè)申請(qǐng)購(gòu)買(mǎi)超高純鈦，結(jié)果都被拒絕了，于是決定自己制造。
2005 年 10 月，江豐電子實(shí)現(xiàn)了第一塊中國(guó)制造靶材研發(fā)成功，每天 500 公斤的產(chǎn)量看上去并不算多，但是我國(guó)在這一領(lǐng)域的產(chǎn)品幾乎為 0，填補(bǔ)了中國(guó)濺射靶材工藝的空白。當(dāng)時(shí)，中國(guó)不僅濺射靶材工藝是空白，就連生產(chǎn)靶材的高純金屬原材料也要全部依賴進(jìn)口。
“從工藝制造到關(guān)鍵的大設(shè)備都是我們自行設(shè)計(jì)的，在中國(guó)找不到第二家能夠做這樣的產(chǎn)品。”姚力軍介紹道，從設(shè)計(jì)到制造，江豐電子擁有自己知識(shí)產(chǎn)權(quán)的，這家工廠整個(gè)投資 6 億元，如果采用全進(jìn)口，不用說(shuō)人家賣(mài)不賣(mài)，即使能買(mǎi)來(lái)全部造價(jià)也要高達(dá) 20 億元，核心裝備受制于人，產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力無(wú)從談起。
芯片是未來(lái)智能裝備控制系統(tǒng)的核心，沒(méi)有姚力軍他們生產(chǎn)的這種靶材，芯片就造不出來(lái)。金屬靶材的金屬原子被一層層建設(shè)到芯片上，再利用特殊的工藝把它們切割成金屬導(dǎo)線，芯片的信息傳輸全靠這些金屬導(dǎo)線。如今的市面上的很多手機(jī)、平板電腦都采用了江豐電子的產(chǎn)品。
中國(guó)每年進(jìn)口芯片超過(guò) 2000 多億美元，總值已經(jīng)超過(guò)石油、糧食等。對(duì)于中國(guó)智造來(lái)說(shuō)，芯片不僅決定著設(shè)備的運(yùn)行，還決定著產(chǎn)業(yè)的國(guó)際分工角色。盡管目前科技產(chǎn)業(yè)在國(guó)內(nèi)風(fēng)生水起，整個(gè)終端產(chǎn)品的制造環(huán)節(jié)更是占到了全球 80%以上的份額，但就產(chǎn)業(yè)鏈上游的芯片來(lái)說(shuō)，中國(guó)企業(yè)要突破的關(guān)鍵技術(shù)還有不少。
姚力軍表示，目前江豐電子超純鈦產(chǎn)品每月產(chǎn)出只有 3～5 噸，還不能滿足當(dāng)前生產(chǎn)的需求，面臨巨大的產(chǎn)能壓力。我們預(yù)計(jì)在未來(lái)的三年時(shí)間，所需要的超高純鈦每年要達(dá)到 250～300 噸，所以一方面江豐電子會(huì)采用與跨國(guó)公司合作的方式，另一方面同時(shí)迅速培養(yǎng)我們自己的產(chǎn)能。
11 月 8 日，寧波江豐電子材料股份有限公司和美國(guó)嘉柏微電子材料股份有限公司在上海新國(guó)際博覽中心舉行雙方簽約儀式，正式宣布就半導(dǎo)體集成電路化學(xué)機(jī)械研磨用（CMP）拋光墊項(xiàng)目進(jìn)行合作。
關(guān)于寧波江豐電子有限公司
2005 年成立的寧波江豐電子有限公司就是一家從事研發(fā)生產(chǎn)濺射靶材的高科技企業(yè)，也是國(guó)內(nèi)唯一從事集成電路芯片制造用超高純度濺射靶材研發(fā)的企業(yè)，生產(chǎn)的半導(dǎo)體濺射靶材產(chǎn)品，已成功替代進(jìn)口產(chǎn)品，并進(jìn)入臺(tái)積電、東芝、索尼、富士通等國(guó)際主流半導(dǎo)體制造企業(yè)。
江豐電子已能夠生產(chǎn)超高純銅、鋁、鉭、鈦等材質(zhì)的各類靶材產(chǎn)品，并已應(yīng)用到線寬 65 納米至 180 納米的當(dāng)前最先進(jìn)的半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。
濺射靶材是制造半導(dǎo)體芯片所必需的一種極其重要的關(guān)鍵材料，其原理是采用物理氣相沉積技術(shù)（PVD），用高壓加速氣態(tài)離子轟擊靶材，使靶材的原子被濺射出，以薄膜的形式沉積到硅片上，最終形成半導(dǎo)體芯片中復(fù)雜的配線結(jié)構(gòu)。濺射靶材以超高純金屬（鋁、鈦、銅、鉭等）為原料，具有金屬鍍膜的均勻性、可控性等諸多優(yōu)勢(shì)，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域。
寧波江豐電子靶材產(chǎn)品已在全世界主要半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)批量銷售，中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)的 TSMC、UMC 等；中國(guó)大陸包括中芯國(guó)際、臺(tái)積電（上海）、華虹 NEC 等；GF 新加坡、IBM、Freescale、美光科技等；日本的 NEC、富士電機(jī)、東芝、索尼、日立、松下等都已是江豐的客戶；來(lái)自韓國(guó)的用戶有三星、海士力、東部等；歐洲則有英飛凌、意法半導(dǎo)體等。
