美國施壓之下，荷蘭將禁止ASML對在華高端DUV設備維護？

8月29日消息，最新的業(yè)內(nèi)消息顯示，荷蘭政府計劃限制ASML在中國維修半導體設備的能力，這或?qū)τ谥袊嵘?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E5%85%88%E8%BF%9B%E5%88%B6%E7%A8%8B/">先進制程制造能力的努力造成打擊。

據(jù)熟悉內(nèi)情的人士透露，在ASML某些在中國提供服務和備件的許可證于今年年底到期后，荷蘭首相迪克·肖夫政府很可能不再為其續(xù)期。這一決定預計將涉及該公司的高端深紫外光刻（DUV）設備。

AMSL是全球最大的半導體設備供應商，同時也是全球最大的光刻機供應商。此類設備供應商在銷售設備時都附帶了維護協(xié)議，這對設備的正常運行至關重要。因此，如果取消這種支持，可能會導致至少部分設備最快在明年就無法運行。

據(jù)稱，荷蘭政府的決定是在美國施加一定壓力后做出的。美國拜登政府的一位高級官員說，如果這些盟國不同意在對華管制上與美國保持一致，美國政府可能將對盟國實施某些單邊措施，包括所謂的“外國直接產(chǎn)品規(guī)則”（FDPR）。

FDPR將使得美國能夠?qū)ν鈬a(chǎn)品實施“長臂管轄”。即使是在美國境外生產(chǎn)的特定物項，如果開發(fā)或制造直接利用了哪怕是最少量的美國特定受管控的軟件或技術，則該物項也將受到出口管制管轄。此前該規(guī)則僅被用于少數(shù)被美國商務部列入“實體清單”的企業(yè)。

目前，除美國外，荷蘭、日本和韓國是全球最重要的芯片制造設備生產(chǎn)國。此前就曾有報道稱，拜登政府威脅使用 FDPR 規(guī)則來讓這些盟國加入對華半導體出口管制。

雖然，荷蘭前首相馬克·呂特（Mark Rutte）領導下的荷蘭政府抵制了美國要求增加對于半導體設備售后服務限制的壓力，認為需要更多時間來評估高端芯片制造設備出口禁令的影響。

但是，在今年7月荷蘭新首相迪克·肖夫上臺后，情況發(fā)生了改變。由這位荷蘭前國家安全部門首腦迪克·肖夫領導的新政府已經(jīng)表明了對中國的警惕態(tài)度。

迪克·肖夫在本月接受采訪時表示，荷蘭在與中國政府就國家安全問題進行談判時必須"非常謹慎"。

當被問及荷蘭政府今年是否考慮采取新的出口管制措施時，迪克·肖夫說，荷蘭政府與美國和日本進行了"良好的談判"，并希望談判"以良好的結(jié)果告終"。

雖然荷蘭政府此前于2023年6月底頒布的有關先進半導體設備的額外出口管制的新條例，但該政策于2023年9月1日才正式生效。這些新的出口管制條例主要針對的對象為先進的芯片制造技術，包括先進的沉積設備和浸沒式光刻系統(tǒng)。盡管如此，ASML憑借已有的許可證，仍能夠允許其在2023年底前繼續(xù)將NXT:2000i 和更先進的DUV光刻機出口到中國大陸。

因此，在荷蘭的限制政策真正發(fā)揮效力之前，中國廠商已經(jīng)進口了不少先進的DUV光刻機。雖然7nm以下的先進制程工藝必須要用到EUV光刻機才擁有足夠的效率、良率和經(jīng)濟效益，但是利用先進的DUV光刻機通過多重曝光工藝，也依然能夠做到7nm，甚至是更先進的5nm制程，雖然會帶來效率、良率的低下，以及成本的大幅提高。

即便如此，美國也希望繼續(xù)封堵住中國大陸通過利用已有的先進的DUV設備的來實現(xiàn)先進制程方面技術突破的努力。因此，美國希望通過限制ASML對于中國大陸已經(jīng)有的先進的DUV光刻機提供售后維護服務，來達到癱瘓這些已有的先進DUV光刻機，從而進一步限制中國先進制程工藝的目的。

值得注意的是，ASML首席財務官羅杰-達森（Roger Dassen）在7月份的財報后電話會議上告訴分析師，盡管一些（中國大陸）工廠面臨更嚴格的限制，但該公司仍有員工在中國客戶的工廠工作。相比之下，由于美國的出口管制，美國公司已經(jīng)不得不撤走為中國最高端芯片設備提供服務的員工。

AMSL前CEO Peter Wennink去年曾強調(diào)，“這些（限制）只適用于數(shù)量有限的（DUV）系統(tǒng)。但我們可以安裝它們。我們出售的任何其他系統(tǒng)，我們都可以安裝并提供服務?！币虼?，這些限制“不會對ASML的2025年至2030年的財務狀況產(chǎn)生重大影響，因為受影響的中國工廠數(shù)量有限”。

據(jù)芯智訊了解，ASML的浸沒式DUV光刻機雖然目前已經(jīng)是非常成熟的設備，其中關鍵的DUV光源除了ASML美國子公司Cymer之外，日本的GIGAPHOTON也可以供應，但日本的新的出口管制政策似乎有限制。另外在關鍵的鏡頭方面，主要是德國的蔡司供應，因此這部分的維護和更換也能夠解決。不過，仍有一些零部件是只有美國來源，比如工件臺、配合工件臺定位對準的激光部件，都是純美國的產(chǎn)品。

雖然ASML目前在中國有一個維修中心，部分零部壞了可以進行本地維修。但是如果修不好，需要更換，那么只要是受限的美國來源的零部件，又沒有其他的供應來源替代，這就意味著該損壞的零部件無法得到更換。唯一可行的方案，可能就是到一些二手設備上拆對應的零部件來替換了。當然，可能部分廠商之前有囤積一些零部件備件的庫存，但這并非長久之計。

如果荷蘭政府在美國壓力之下停止向ASML發(fā)放許可證，那么ASML對于在華高端DUV設備的售后維護將會徹底受限。

根據(jù)ASML的財報顯示，2023全年，ASML的凈銷售額為276億歐元，其中56億歐元來自于已安裝的設備維護服務，占比20.29%。而中國大陸在ASML的凈系統(tǒng)銷售當中的占比約29%。如果按照該比例計算的話，2023年ASML來自中國的設備維護服務收入約為16.24億歐元。不過，受限的高端DUV設備的售后維護服務營收在當中的占比可能也只占一部分。

編輯：芯智訊-浪客劍