勻膠轉(zhuǎn)速過(guò)大為什么會(huì)造成光刻膠條紋？

知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū)，星球號(hào)：63559049）里的學(xué)員問(wèn)：勻膠后發(fā)現(xiàn)晶圓表面出現(xiàn)很多條紋，什么原因?qū)е碌模坑惺裁唇鉀Q思路？

為什么會(huì)出現(xiàn)光刻膠條紋？

光刻膠條紋的出現(xiàn)最根本原因是膠面的不平整，均勻性不好，有的部位膠比較厚有的部位膠比較薄，以條紋狀的形式分布。這種原因是由于勻膠的轉(zhuǎn)速過(guò)大導(dǎo)致的。

轉(zhuǎn)速過(guò)大為什么會(huì)造成勻膠的均勻性差？

光刻膠在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，上方的空氣流動(dòng)對(duì)于勻膠的均勻性影響很大。氣流分為層流與湍流，用雷諾數(shù)表示：

Re為雷諾數(shù)，?ω 是襯底的角速度（rad/s），r 是襯底的半徑（m），而 v 是空氣的運(yùn)動(dòng)粘度。通常，空氣的運(yùn)動(dòng)粘度在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下和室溫（約20°C）時(shí)大約是1.56×10-5m2/s。從公式可以看出，晶圓尺寸越大，轉(zhuǎn)速越快，晶圓上方流體的雷諾數(shù)越大。根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，當(dāng)雷諾數(shù)Re大于302000時(shí)，會(huì)被認(rèn)為是過(guò)度湍流，過(guò)度湍流會(huì)造成蒸發(fā)速率不均勻使得溶劑在某些區(qū)域的蒸發(fā)速度比其他區(qū)域快，形成條紋。因此，旋轉(zhuǎn)速度不能過(guò)高。

另外，高轉(zhuǎn)速會(huì)造成震動(dòng)過(guò)大，加劇勻膠的不穩(wěn)定性。

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