4&6寸硅片為什么要留平邊（flat）？

知識星球（星球名：芯片制造與封測社區(qū)，星球號：63559049）里的學(xué)員問：2，4，6寸硅片都有平邊，它們有什么作用？

硅片的平邊（Flat）是什么？

Flat也可以被稱為定位邊。2，4，6寸硅片不是整個圓形，而是被切掉了一個缺角。用CZ法拉出硅錠后，還未被切割成一片片硅片前，一旦晶向被確定，就會用金剛鋸在晶錠上切割出一個或多個平邊。因此硅片有1-2個定位邊，長的定位邊在晶圓底部，短的定位邊位置不固定，跟隨晶向與摻雜類型發(fā)生變化。

定位邊位置與晶向的關(guān)系？

硅片的晶向一般為三種：<111><110><100>。

當(dāng)主定位邊與次定位邊夾角為45°時，硅片類型為n型<111>;當(dāng)主定位邊與次定位邊夾角為90°時，硅片類型為p型<100>;當(dāng)主定位邊與次定位邊夾角為180°時，硅片類型為n型<100>。由于<110>晶向，不是主流的硅片晶向，因此沒有一個標(biāo)準(zhǔn)來表示，可以根據(jù)硅片供應(yīng)商自己的標(biāo)準(zhǔn)來表示<110>晶向。

主定位邊與次定位邊的長度是固定的嗎？

是的，因為要匹配半導(dǎo)體制造設(shè)備，因此主，主次定位邊的長度和位置都是固定的。

一般2inch的主定位邊長度為15.8mm，4inch硅片主定位邊長度為32.5mm，6inch硅片主定位邊為57.5mm。4英寸硅片次定位平邊的長度約為18 mm，6英寸硅片次定位平邊的長度約為22 mm。

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