分子束外延（MBE）設(shè)備原理

知識(shí)星球（星球名：芯片制造與封測(cè)社區(qū)）里的學(xué)員問(wèn)：分子束外延（MBE）設(shè)備復(fù)雜嗎，有什么特點(diǎn)？為什么叫分子束呢？

?什么是外延？外延就是在單晶襯底上再生長(zhǎng)出一層單晶膜層。

??外延的種類有哪些？VPE,LPE,SPE,MoCVD，分子束外延(MBE)

?MBE設(shè)備原理？

如上圖，是一個(gè)典型的分子束外延設(shè)備圖，

1. To buffer chamber

是一個(gè)在生長(zhǎng)室（growth chamber）與外部環(huán)境之間起到過(guò)渡作用的腔室，進(jìn)行樣品的預(yù)熱，轉(zhuǎn)移等

2. Ionization gauge

電離規(guī)，用于測(cè)量生長(zhǎng)室內(nèi)的真空度。它通過(guò)電離室內(nèi)的少量氣體分子來(lái)測(cè)定真空度。

3. RHEED screen/RHEED gun

反射高能電子衍射，一個(gè)是發(fā)射槍，一個(gè)是顯示屏幕。顯示屏幕用來(lái)顯示電子衍射圖樣的。通過(guò)圖樣可以得到生長(zhǎng)中的晶體薄膜的表面結(jié)構(gòu)信息，實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜生長(zhǎng)質(zhì)量和結(jié)構(gòu)。

4. Mass spectrometer

質(zhì)譜儀，用來(lái)分析和監(jiān)測(cè)生長(zhǎng)過(guò)程中的分子束組成。它可以精確地測(cè)定不同分子束的質(zhì)量，從而控制生長(zhǎng)過(guò)程中的材料組成。5，Heating Coils加熱線圈，用于加熱源材料
6，Beam Flux Monitor
束流監(jiān)控器，監(jiān)控分子束流的強(qiáng)度。

7. Effusion cell

源池，用來(lái)加熱固體源材料，形成分子束。在裝載過(guò)程中，通過(guò)緩沖室（buffer chamber）轉(zhuǎn)移晶圓，以防止真空室內(nèi)的真空被破壞。不同的固體源材料放置在分子束源池中，加熱至蒸發(fā)狀態(tài)形成分子束。分子束在超高真空中打到加熱的基底上，分子（原子）在基底表面吸附、遷移、成核和生長(zhǎng)。生長(zhǎng)過(guò)程中用RHEED，Beam Flux Monitor，Ionization gauge等監(jiān)控膜層，環(huán)境信息，以形成高質(zhì)量的薄膜。

歡迎加入我的半導(dǎo)體制造知識(shí)社區(qū)，答疑解惑，上千個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)資料共享，內(nèi)容比文章豐富很多很多，適合快速提升個(gè)人能力，介紹如下：??????《歡迎加入作者的芯片知識(shí)社區(qū)！》