非破壞性SiC缺陷檢測系統(tǒng)可省巨額成本并提高產(chǎn)出，蔚華科技攜南方科技搶攻第三代半導(dǎo)體商機

/美通社/ -- 半導(dǎo)體測試解決方案專業(yè)品牌蔚華科技（TWSE: 3055）攜手旗下數(shù)字光學(xué)品牌南方科技，共同推出業(yè)界首創(chuàng)的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統(tǒng)，采用先進非線性光學(xué)技術(shù)對SiC襯底進行全片掃描，找出襯底內(nèi)部的致命性晶體缺陷，用以取代現(xiàn)行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，可提升產(chǎn)量并有助于改善制程。若以每個SiC晶錠需蝕刻2片襯底來計算，JadeSiC-NK可為具有100個長晶爐的襯底廠省下每年5600萬因蝕刻而損耗的成本。

蔚華科技與旗下南方科技發(fā)表業(yè)界首創(chuàng)非破壞性SiC缺陷檢測系統(tǒng)，搶攻第三代半導(dǎo)體檢測分析市場

需求迅速爆發(fā) SiC襯底與組件供不應(yīng)求 唯KOH是高成本痛點

在現(xiàn)今環(huán)境永續(xù)意識抬頭的全球趨勢下，許多國家已制定電動車的階段性政策目標，SiC芯片需求迅速爆發(fā)，尤其用于生產(chǎn)電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導(dǎo)體組件，供給量遠遠不及需求。

第三代半導(dǎo)體的襯底材料質(zhì)量決定下游芯片的可靠度及性能優(yōu)劣，但SiC長晶速度較慢，且襯底晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測，使得SiC芯片制程成本居高不下，目前全球主要襯底廠皆積極投資產(chǎn)能擴充并改善制程，加速產(chǎn)業(yè)布局以搶攻市占率。襯底廠與組件廠若能在制程中對材料做全面非破壞性檢測，不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學(xué)溶液使用量，更能及早發(fā)現(xiàn)問題，進而有效改善制程、提升良率，進而在第三代半導(dǎo)體市場中展現(xiàn)絕佳優(yōu)勢。

JadeSiC-NK以非線性光學(xué)檢測取代現(xiàn)行破壞性KOH蝕刻 可降低成本提高產(chǎn)能

南方科技總經(jīng)理王嘉業(yè)表示，目前市場上的光學(xué)技術(shù)只能檢測表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK系統(tǒng)采用先進的非線性光學(xué)技術(shù)，可對全片襯底表面到特定深度進行掃描，反應(yīng)晶體結(jié)構(gòu)信息，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶有效掌握襯底質(zhì)量，未來生產(chǎn)出的組件質(zhì)量與效能也能更加穩(wěn)定。

王嘉業(yè)進一步說明，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統(tǒng)專注在穩(wěn)定且有效地找出襯底中的致命性晶體缺陷（BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相較現(xiàn)行將SiC晶錠切片后取上下二片襯底進行檢測的KOH蝕刻方式，可大幅節(jié)省檢測時間與襯底成本。以每個長晶爐每月產(chǎn)出四個晶錠為例，采用JadeSiC-NK后，每個晶錠可省下二片襯底成本（每片6寸襯底以800美元計），因此可推估一個長晶爐每年可省下人民幣56萬元，若是具有100個長晶爐的襯底廠，一年即可省下人民幣5600萬元！此外，JadeSiC-NK也可針對同一個晶錠進行100%的晶圓檢查，進行詳細的晶錠分析和批次追踨分析，協(xié)助客戶在高技術(shù)門檻的第三代半導(dǎo)體市場加速制程及產(chǎn)量優(yōu)化。

陽明交通大學(xué)光電工程學(xué)系講座教授郭浩中表示，蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統(tǒng)，將非線性光學(xué)技術(shù)應(yīng)用在第三代半導(dǎo)體的檢測分析，有助突破目前業(yè)界在量產(chǎn)及制程改善的技術(shù)瓶頸，對于產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展提供極大推力，期盼此系統(tǒng)能以更有效更穩(wěn)定的檢測方法，建立業(yè)界SiC襯底檢測標準，成為產(chǎn)業(yè)界非線性光學(xué)技術(shù)的領(lǐng)航品牌，引領(lǐng)市場應(yīng)用持續(xù)創(chuàng)新及突破。

從設(shè)備代理到自有產(chǎn)品 跨足光學(xué)檢測領(lǐng)域 蔚華科技前景可期

蔚華科技總經(jīng)理楊燿州表示，考慮經(jīng)銷代理的不穩(wěn)定性及追求更好的獲利結(jié)構(gòu)，蔚華不斷加強投資自有產(chǎn)品開發(fā)以求推出更貼近客戶需求的解決方案，此次透過并購南方科技，加速自有產(chǎn)品的發(fā)展進程，讓蔚華從半導(dǎo)體封測設(shè)備跨足光學(xué)檢測，首先鎖定極具前景的第三代半導(dǎo)體材料缺陷檢測，對客戶、員工及投資人來說都將是非常振奮人心的新局。

楊燿州進一步指出，蔚華與南方科技自經(jīng)銷合作以來就秉持共同成長、互相成就的初心，成立先進光學(xué)材料檢測實驗室讓獨特的光學(xué)檢測技術(shù)更快進入業(yè)界應(yīng)用，透過客戶的反復(fù)驗證，進而調(diào)整產(chǎn)品規(guī)格以滿足客戶需求。除了將非線性光學(xué)技術(shù)應(yīng)用在本次推出的JadeSiC-NK外，未來也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、硅光子等先進光學(xué)檢測技術(shù)的商業(yè)化，持續(xù)加大研發(fā)能量有效整合集團資源，發(fā)揮綜效。

光電科技工業(yè)協(xié)進會董事長邰中和則表示，非常樂見兩家臺灣企業(yè)透過互補雙贏的結(jié)合產(chǎn)生綜效，更為產(chǎn)業(yè)創(chuàng)造巨大價值。蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統(tǒng)是極具指針性的技術(shù)突破，不但對全球第三代半導(dǎo)體業(yè)來說是可以大幅降低成本并增加產(chǎn)能的革命性產(chǎn)品，更能讓全球看見蔚華與南方科技在光學(xué)領(lǐng)域的技術(shù)實力，在未來蓬勃發(fā)展的第三代半導(dǎo)體市場扮演關(guān)鍵角色。