高k柵介質(zhì)中電荷俘獲行為的脈沖特征分析
[摘要] 本文介紹了電荷俘獲的原理以及直流特征分析技術(shù)對(duì)俘獲電荷進(jìn)行定量分析的局限性。接下來(lái),本文介紹了一種超快的脈沖I-V分析技術(shù),能夠?qū)哂锌焖偎矐B(tài)充電效應(yīng)(FTCE)的高k柵晶體管的本征(無(wú)俘獲)性能進(jìn)行特征分析。
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所屬分類(lèi):微弱信號(hào)與源測(cè)量
獎(jiǎng)品
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